一种制备亚微米周期任意极化图案铌酸锂微盘腔的方法

    公开(公告)号:CN109061910B

    公开(公告)日:2022-08-02

    申请号:CN201811053887.5

    申请日:2018-09-11

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本发明提供一种制备亚微米周期任意极化图案铌酸锂微盘腔的方法,其包括以下步骤:步骤一,生成带下电极的铌酸锂薄膜;步骤二,在铌酸锂薄膜上制备微盘腔掩模图案;步骤三,对样品进行反应离子束刻蚀,形成铌酸锂微盘;步骤四,在铌酸锂微盘上构造任意图案的极化结构;步骤五,对样品进行金属层和二氧化硅层刻蚀,形成边缘悬空的周期极化铌酸锂微盘腔。该发明操作简单,精度高,可实现具有小周期任意极化图案的铁电晶体微腔的制备。

    一种制备亚微米周期任意极化图案铌酸锂微盘腔的方法

    公开(公告)号:CN109061910A

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201811053887.5

    申请日:2018-09-11

    Applicant: 南开大学

    CPC classification number: G02F1/05

    Abstract: 本发明提供一种制备亚微米周期任意极化图案铌酸锂微盘腔的方法,其包括以下步骤:步骤一,生成带下电极的铌酸锂薄膜;步骤二,在铌酸锂薄膜上制备微盘腔掩模图案;步骤三,对样品进行反应离子束刻蚀,形成铌酸锂微盘;步骤四,在铌酸锂微盘上构造任意图案的极化结构;步骤五,对样品进行金属层和二氧化硅层刻蚀,形成边缘悬空的周期极化铌酸锂微盘腔。该发明操作简单,精度高,可实现具有小周期任意极化图案的铁电晶体微腔的制备。

    磷酸铁锂及其复合金属磷化物的电极材料和制备方法

    公开(公告)号:CN100389515C

    公开(公告)日:2008-05-21

    申请号:CN200510015888.7

    申请日:2005-11-04

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本发明涉及一种磷酸铁锂及其复合金属磷化物的电极材料和制备方法。它是高密度球形LiFePO4及LiFePO4/MxP(M为过渡金属Ni、Fe、W、Mo或Co中的任一种,X为1或2)电极材料。采用一步喷雾技术实现LiFePO4及LiFePO4/MxP的低温可控制备,工艺简单,流程短,易于实现工业化。LiFePO4及LiFePO4/MxP复合电极材料具有规则的球形结构,直径为2μm,具有较高的电导率和堆积密度,提高了质子的扩散性能,增大了活性物质与电极间的接触,减小了电极、电池内阻,显著提高了电极的放电及循环稳定性能,在新型高性能锂离子电池中得到广泛应用。

    磷酸铁锂及其复合金属磷化物的电极材料和制备方法

    公开(公告)号:CN1773754A

    公开(公告)日:2006-05-17

    申请号:CN200510015888.7

    申请日:2005-11-04

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本发明涉及一种磷酸铁锂及其复合金属磷化物的电极材料和制备方法。它是高密度球形LiFePO4及LiFePO4/MxP(M为过渡金属Ni、Fe、W、Mo或Co中的任一种,X为1或2)电极材料。采用一步喷雾技术实现LiFePO4及LiFePO4/MxP的低温可控制备,工艺简单,流程短,易于实现工业化。LiFePO4及LiFePO4/MxP复合电极材料具有规则的球形结构,直径为2μm,具有较高的电导率和堆积密度,提高了质子的扩散性能,增大了活性物质与电极间的接触,减小了电极、电池内阻,显著提高了电极的放电及循环稳定性能,在新型高性能锂离子电池中得到广泛应用。

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