一种气体传感器及其加工方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117783220A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202311770190.0

    申请日:2023-12-21

    Abstract: 本发明公开了一种气体传感器及其加工方法,属于气体传感器技术领域,加工方法包括:在硅衬底上依次形成氧化层、氮化物层、加热电极和绝缘层;去除第一预设区域内的氮化物层和绝缘层,由剩余的氮化物层分别形成氮化物岛层和氮化物支撑层,由剩余的绝缘层分别形成绝缘岛层和绝缘支撑层,由氮化物岛层、加热电极和绝缘岛层形成岛部加热组件,并利用连接件连接岛部加热组件和绝缘支撑层;去除第二预设区域内的硅衬底和氧化层,由第二预设区域形成隔热槽;在绝缘岛层上形成具有片上去除湿度干扰结构的敏感电极。本发明提供的气体传感器加工方法,加工工艺简单,加工而成的气体传感器具有片上去除湿度干扰结构,灵敏度高、使用寿命长。

    一种摩擦电柔性透明触摸位点检测传感器

    公开(公告)号:CN118816690A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202410768584.0

    申请日:2024-06-14

    Abstract: 本发明公开了一种摩擦电柔性透明触摸位点检测传感器,包括自上而下依次对应设置的摩擦层、上电极层、中间层、下电极层和基底层;上电极层和下电极层分别包括平行设置的多根电极线,且上电极层和下电极层对应的电极线相互垂直布设成经纬电极阵列;上电极层的电极线与下电极层的电极线的交叉位点分别连接有呈互补结构的半圆形触点;上电极层、下电极层两端对应设置有第一电阻链路、第二电阻链路,第一电阻链路或第二电阻链路接地端对应的尾电阻两端电压为输出信号,通过检测两个尾电阻电压信号峰值的比值即可确定触摸位点的经纬坐标。本发明不仅可大幅缩减器件的输出信号通道数量,而且可有效抑制上电极层与下电极层之间的干扰效应。

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