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公开(公告)号：CN117783220A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311770190.0
申请日：2023-12-21
Applicant: 南京邮电大学 , 南京邮电大学南通研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种气体传感器及其加工方法，属于气体传感器技术领域，加工方法包括：在硅衬底上依次形成氧化层、氮化物层、加热电极和绝缘层；去除第一预设区域内的氮化物层和绝缘层，由剩余的氮化物层分别形成氮化物岛层和氮化物支撑层，由剩余的绝缘层分别形成绝缘岛层和绝缘支撑层，由氮化物岛层、加热电极和绝缘岛层形成岛部加热组件，并利用连接件连接岛部加热组件和绝缘支撑层；去除第二预设区域内的硅衬底和氧化层，由第二预设区域形成隔热槽；在绝缘岛层上形成具有片上去除湿度干扰结构的敏感电极。本发明提供的气体传感器加工方法，加工工艺简单，加工而成的气体传感器具有片上去除湿度干扰结构，灵敏度高、使用寿命长。
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公开(公告)号：CN115901864B
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202211473397.7
申请日：2022-11-23
Applicant: 南京邮电大学 , 南京邮电大学南通研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种阵列式多温区的气体传感器及其制备方法，包括衬底层以及设于衬底层上的珀尔帖控温单元至少二组珀尔帖控温单元；珀尔帖控温单元包括分离设于衬底层上珀尔帖放热单元、珀尔帖吸热单元，珀尔帖放热单元、珀尔帖吸热单元顶面依次设有导热层以及导热层顶面设置的绝缘层和保护层；保护层顶面阵列排布有若干组气敏电极，各组气敏电极上设有不同种类和厚度的气敏材料层。本发明的气体传感器，合理布置珀尔帖控温单元结构，实现温度精确选择和控制，提高气体传感器准确性和稳定性；采用阵列式分布有多个气敏电极和气敏材料层，实现多温区布局，提高气体传感器的检测能力；温控结构具有工艺兼容、体积小、响应速度快、调理电路简单、高精度控温等优点。
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公开(公告)号：CN115901864A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211473397.7
申请日：2022-11-23
Applicant: 南京邮电大学 , 南京邮电大学南通研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种阵列式多温区的气体传感器及其制备方法，包括衬底层以及设于衬底层上的珀尔帖控温单元至少二组珀尔帖控温单元；珀尔帖控温单元包括分离设于衬底层上珀尔帖放热单元、珀尔帖吸热单元，珀尔帖放热单元、珀尔帖吸热单元顶面依次设有导热层以及导热层顶面设置的绝缘层和保护层；保护层顶面阵列排布有若干组气敏电极，各组气敏电极上设有不同种类和厚度的气敏材料层。本发明的气体传感器，合理布置珀尔帖控温单元结构，实现温度精确选择和控制，提高气体传感器准确性和稳定性；采用阵列式分布有多个气敏电极和气敏材料层，实现多温区布局，提高气体传感器的检测能力；温控结构具有工艺兼容、体积小、响应速度快、调理电路简单、高精度控温等优点。
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公开(公告)号：CN218824055U
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202223112497.5
申请日：2022-11-23
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01N27/22
Abstract: 本实用新型公开了一种基于珀尔帖效应的气体传感器，所述气体传感器包括衬底层、设于衬底层上的介电层以及设于介电层上的至少一组珀尔帖效应单元；所述珀尔帖效应单元包括分设于介电层两侧的珀尔帖放热单元、珀尔帖吸热单元；所述珀尔帖放热单元、珀尔帖吸热单元顶面设有绝缘层，所述绝缘层顶面分别设有与珀尔帖放热单元、珀尔帖吸热单元对应的气敏电极以及分别加工在气敏电极上的第一气敏材料层、第二气敏材料层。本实用新型在气敏电极下方合理布置珀尔帖效应单元结构，实现不同气敏电极检测区的温度精确选择和控制，提高传感器准确性和稳定性；温控结构具有工艺兼容、体积小、响应速度快、调理电路简单、高精度控温、多温区控温等优点。
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