利用可见光信号的氮化镓光电子集成式浊度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN114965374A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210513882.6

    申请日:2022-05-11

    Abstract: 本发明提出了半导体领域内的一种利用可见光信号的氮化镓光电子集成式浊度传感器,包括设置在液体容器内壁上的光电子芯片,所述光电子芯片包括硅衬底层、氮化物外延层,所述氮化物外延层上设置有作为可见光信号光源的微型LED器件及接收可见光信号的光电探测器,所述氮化物外延层设置有连接微型LED器件和光电探测器的正电极、负电极,所述硅衬底层部分与电路板结合,所述氮化物外延层外部设有封装层,本发明集成度高,可以使用低成本小体积的集成式系统有效且准确地监测待测液体的浊度等物理参数。

    一种基于多波导型定向耦合器的集成式芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN113066891B

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202110354218.7

    申请日:2021-04-01

    Abstract: 本发明揭示了一种基于多波导型定向耦合器的集成式芯片及其制备方法,所述芯片以晶圆为载体,所述晶圆上设置有发光二极管器件,所述发光二极管器件的出光端依次设置有调节组件及光电探测器,所述调节组件由多波导型定向耦合器及与置于所述多波导型定向耦合器上方,且与所述多波导型定向耦合器垂直相交的聚二甲基硅氧烷微流体通道构成。本发明采用以上技术方案与现有技术相比,产生的有益效果为:可以有效且快速的监测出待测液体的折射率等物理参数。

    一种红外光微型振动监测芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN113066890A

    公开(公告)日:2021-07-02

    申请号:CN202110354194.5

    申请日:2021-04-01

    Abstract: 本发明揭示了一种红外光微型振动监测芯片及其制备方法,所述芯片包括一印刷线路板,所述印刷线路板上设置有晶圆,所述晶圆包括磷化铟衬底及设置于所述磷化铟衬底上的多量子阱外延层,所述多量子阱外延层内设置有红外光发射部件和红外光接收部件,所述红外光发射部件与所述红外光接收部件通过导线与所述印刷线路板连接。本发明采用以上技术方案与现有技术相比,产生的有益效果为:本发明的芯片对测量空间稳定性和几何光路尺寸的要求大幅度降低,安装操作方便,使用单个光电子芯片进行振动监测,成本低,操作方便,适用于多种不同的工作环境。

    一种基于多波导型定向耦合器的集成式芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN113066891A

    公开(公告)日:2021-07-02

    申请号:CN202110354218.7

    申请日:2021-04-01

    Abstract: 本发明揭示了一种基于多波导型定向耦合器的集成式芯片及其制备方法,所述芯片以晶圆为载体,所述晶圆上设置有发光二极管器件,所述发光二极管器件的出光端依次设置有调节组件及光电探测器,所述调节组件由多波导型定向耦合器及与置于所述多波导型定向耦合器上方,且与所述多波导型定向耦合器垂直相交的聚二甲基硅氧烷微流体通道构成。本发明采用以上技术方案与现有技术相比,产生的有益效果为:可以有效且快速的监测出待测液体的折射率等物理参数。

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