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发明公开
利用可见光信号的氮化镓光电子集成式浊度传感器及其制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN114965374A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210513882.6

申请日：2022-05-11

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 李欣 , 韩明宇 , 李芸 , 陶玥 , 宋少寒 , 竺欣晨 , 王永进

IPC: G01N21/51

Abstract: 本发明提出了半导体领域内的一种利用可见光信号的氮化镓光电子集成式浊度传感器，包括设置在液体容器内壁上的光电子芯片，所述光电子芯片包括硅衬底层、氮化物外延层，所述氮化物外延层上设置有作为可见光信号光源的微型LED器件及接收可见光信号的光电探测器，所述氮化物外延层设置有连接微型LED器件和光电探测器的正电极、负电极，所述硅衬底层部分与电路板结合，所述氮化物外延层外部设有封装层，本发明集成度高，可以使用低成本小体积的集成式系统有效且准确地监测待测液体的浊度等物理参数。

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