公开(公告)号：CN111693189B

公开(公告)日：2022-04-15

申请号：CN202010478261.X

申请日：2020-05-29

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 刘启发 ,  倪永康 ,  徐婧 ,  郭娅杰 ,  赵洁

IPC: G01L1/18

Abstract: 本发明公开了一种新型柔性力敏传感器及其制备方法，本发明包括柔性材料、其上的微结构电极阵列区和宏观结构电极、与微结构电极阵列区结合的微纳碳材料所组成。本发明结合了柔性材料、微阵列电极结构和微纳碳材料，基于压阻原理实现了简便、低成本、高灵敏度、多维度感应的力学信号传感。微阵列电极制作于柔性材料表面，同时微纳碳材料和微阵列电极复合形成传感区。制备方法采用传统的微纳加工工艺实现。

公开(公告)号：CN111693189A

公开(公告)日：2020-09-22

申请号：CN202010478261.X

申请日：2020-05-29

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 刘启发 ,  倪永康 ,  徐婧 ,  郭娅杰 ,  赵洁

IPC: G01L1/18

Abstract: 本发明公开了一种新型柔性力敏传感器及其制备方法，本发明包括柔性材料、其上的微结构电极阵列区和宏观结构电极、与微结构电极阵列区结合的微纳碳材料所组成。本发明结合了柔性材料、微阵列电极结构和微纳碳材料，基于压阻原理实现了简便、低成本、高灵敏度、多维度感应的力学信号传感。微阵列电极制作于柔性材料表面，同时微纳碳材料和微阵列电极复合形成传感区。制备方法采用传统的微纳加工工艺实现。