公开(公告)号：CN107675140A

公开(公告)日：2018-02-09

申请号：CN201710924074.8

申请日：2017-09-30

Applicant: 南京航空航天大学

Inventor： 卢文壮 ,  张召 ,  于守鑫 ,  冯伟 ,  李微微 ,  田万杉 ,  孙玉利 ,  左敦稳

IPC: C23C16/04 ,  C23C16/27

CPC classification number: C23C16/042 ,  C23C16/27 ,  C23C16/272 ,  C23C16/274

Abstract: 一种基于微区阻隔法的金刚石刀具织构涂层的制备方法，其特征在于它主要包括以下步骤：首先，在金属薄膜上加工出微孔和/或微沟槽阵列作为掩膜；其次，将刀具基体进行预处理；第三，将所述掩膜固定于预处理后的刀具基体表面；第四，采用表面涂层技术在覆盖掩膜的刀具表面沉积微区阻隔薄膜，薄膜制备完成后去掉掩膜，在刀具表面形成抑制金刚石生长的具有织构特征的微区突起；第五，采用CVD方法在带有微区突起的刀具表面选择性生长金刚石织构涂层；第六，去掉第四步在刀具基体表面沉积形成的具有织构特征的微区突起。本发明方法简便快捷，成本相对较低，生长效率和成功率都比较高并且不会破坏刀具，不减小刀具本身的强度。

公开(公告)号：CN107675140B

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201710924074.8

申请日：2017-09-30

Applicant: 南京航空航天大学

Inventor： 卢文壮 ,  张召 ,  于守鑫 ,  冯伟 ,  李微微 ,  田万杉 ,  孙玉利 ,  左敦稳

IPC: C23C16/04 ,  C23C16/27

Abstract: 一种基于微区阻隔法的金刚石刀具织构涂层的制备方法，其特征在于它主要包括以下步骤：首先，在金属薄膜上加工出微孔和/或微沟槽阵列作为掩膜；其次，将刀具基体进行预处理；第三，将所述掩膜固定于预处理后的刀具基体表面；第四，采用表面涂层技术在覆盖掩膜的刀具表面沉积微区阻隔薄膜，薄膜制备完成后去掉掩膜，在刀具表面形成抑制金刚石生长的具有织构特征的微区突起；第五，采用CVD方法在带有微区突起的刀具表面选择性生长金刚石织构涂层；第六，去掉第四步在刀具基体表面沉积形成的具有织构特征的微区突起。本发明方法简便快捷，成本相对较低，生长效率和成功率都比较高并且不会破坏刀具，不减小刀具本身的强度。

公开(公告)号：CN105150090A

公开(公告)日：2015-12-16

申请号：CN201510512339.4

申请日：2015-08-19

Applicant: 南京航空航天大学

Inventor： 冯伟 ,  卢文壮 ,  李微微 ,  杨斌 ,  杨旭 ,  张吴晖 ,  孙玉利 ,  左敦稳

IPC: B24B37/11 ,  B24B37/025 ,  C23C16/27

CPC classification number: B24B37/11 ,  B24B37/025 ,  C23C16/271

Abstract: 一种基于可控织构CVD金刚石膜的小尺寸蓝宝石球罩研磨工具。它主要由工具基体、可控织构CVD金刚石膜涂层镶块、弹性支撑体组成，在镶块基体上沉积有CVD金刚石膜，起研磨作用的金刚石晶粒在镶块的整个表面上分布均匀、致密，研磨效率高。通过控制制备参数可以达到织构可控，制备后镶块表面粗糙度较低，且在镶块与工具基体之间有弹性支撑体，在研磨过程中起到缓冲作用。本发明加工质量高，无应力和划伤，结构简单，制造方便。