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公开(公告)号：CN118859517A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410859544.7
申请日：2024-06-28
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种相位恢复波前测量中的轴向距离校正方法。该方法利用非线性优化解析梯度公式对轴向距离进行校正，实现了轴向距离的自动确定，克服了离轴距离不精确造成的波前重构不精确的问题。通过对一个目标函数求导进行轴向距离优化，实现了轴向距离的精确重建。本发明实现了相位恢复波前测量中的轴向距离精确重建，可以在不确定轴向距离的情况下实现波前的精确重建。
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公开(公告)号：CN117197207A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311107041.6
申请日：2023-08-30
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种多方位微分相位重构方法。针对两个方向的同步移相横向剪切干涉图，基于相位相关的图像配准算法对两个方向的剪切干涉图进行位置匹配，通过四步移相算法求得两个方向的包裹相位，利用优化的基于DCT的最小二乘相位解包裹算法对包裹相位进行解包裹，通过边缘检测与拟合计算剪切干涉图的剪切量，利用基于差分Zernike多项式的最小二乘法重构待测波面，由消倾斜算法消除引入的倾斜误差，完成微分相位重构。本发明利用优化的解包裹算法能克服噪声引起的解包裹失败问题，使展开相位更加平滑连续且接近真实相位，同时在圆域处理数据，不需要进行Zernike多项式的正交化，本发明可应用于处理多方位的横向剪切干涉测量。
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公开(公告)号：CN117190850A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311135299.7
申请日：2023-09-05
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B9/02055 , G01B9/02 , G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种振动环境下的白光干涉测量方法，包括：同步采集白光干涉图序列和准单色光干涉图序列；根据准单色光干涉图序列，利用傅里叶变换求解干涉图相位，并对其进行解包裹处理得到干涉图中每个像素点的非均匀移相间隔；对非均匀的移相间隔进行升序排列，对每个移相间隔所对应的白光干涉图也按照非均匀移相间隔相应的顺序排序；对排序后的非均匀移相间隔和非均匀白光干涉信号利用非均匀傅里叶变换算法进行校正处理；对校正后的干涉信号进行傅里叶变换；去除频谱中高斯核函数的影响；利用傅里叶变换滤波提取包络，并采用包络曲线拟合法恢复待测件表面的形貌分布。本发明能有效地复原出待测物体的形貌信息，且提高了白光干涉系统的测量精度。
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公开(公告)号：CN117191351A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311107039.9
申请日：2023-08-30
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于特征多项式的平行平板光学参数快速高精度测量方法，包括以下步骤：通过波长调谐移相干涉法获得平行平板的N幅干涉图以及空腔干涉图；基于干涉结果获得平行平板表面面形和光学厚度变化的相对频率；根据所述相对频率，结合特征多项式理论构建计算平行平板表面面形和光学厚度变化的N步波长移相算法；基于所述N步波长移相算法，对平行平板的表面面形和光学厚度变化的相位信息进行提取和解包，得到波面信息；结合波面信息，计算平行平板的光学参数。本发明能以较少的干涉图数量进行平行平板光学参数的快速高精度测量，同时面对不同厚度(5mm及以上)的平行平板仍然具有广泛适用性。
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