二硫化铼/锑化镓异质结光电探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115911151A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202211310281.1

    申请日:2022-10-25

    Abstract: 本发明公开了一种二硫化铼/锑化镓异质结光电探测器及其制备方法。所述的器件结构从下到上依次为刚性衬底、一维半导体材料GaSb纳米线、二维半导体材料ReS2薄片以及源漏电极,先在衬底上分散GaSb纳米线,使GaSb纳米线置于衬底表面,运用干法转移平台将ReS2薄片转移到GaSb纳米线表面使其形成范德华异质结构,再制备源漏电极,形成光电探测器。本发明的二硫化铼/锑化镓异质结光电探测器在可见光范围内表现出高的响应度,适用于可见光红外探测器领域。

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