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公开(公告)号：CN117800390A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202211164396.4
申请日：2022-09-23
Applicant: 南京理工大学
IPC: C01G29/00
Abstract: 本发明公开了一种溶液辅助法制备二维铋氧硫薄膜的方法。所述方法将Bi(NO3)3·5H2O粉末溶于乙二醇中配置前驱体溶液，然后旋涂于硅片衬底表面，退火形成Bi2O3薄膜，再以硫粉作为前驱体粉末置于双温区管式炉的第一温区，Bi2O3薄膜置于双温区管式炉的第二温区，升温硫化得到大面积的二维Bi2O2S薄膜。本发明通过调控前驱体的浓度、匀胶机的转速来调控制备薄膜的厚度以及均匀性，薄膜厚度可以精确控制到10nm，实现了二维尺度稳定可控且高质量的Bi2O2S薄膜的大面积制备。
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