用于纳米定位平台的双轴柔性导向机构及其刚度建模方法

    公开(公告)号:CN115045904A

    公开(公告)日:2022-09-13

    申请号:CN202110250767.X

    申请日:2021-03-08

    Abstract: 本发明公开了一种用于纳米定位平台的双轴柔性导向机构及其刚度建模方法。包括工作台基座和固定框架,工作台基座设定在固定框架的中部,中间有8个呈对称分布的结构相同的正弦形柔性铰链并与固定框架连接。其刚度建模方法步骤包括:利用卡式第二定理推导正弦形柔性铰链单元的柔度,然后进一步采用基于矩阵的柔度建模方法得到柔性铰链的刚度矩阵,最后再用同样的方法来获得机构的总刚度。本发明利用正弦柔性铰链可同时发生弹性伸长和弯曲变形的特性,开发了一种用于纳米定位平台的双轴柔性导向机构,能够实现两轴的解耦运动,并具有较大运动行程,减小了平台的整体尺寸及运动质量从而提高了定位平台的工作带宽。

    用于纳米定位平台的双轴柔性导向机构及其刚度建模方法

    公开(公告)号:CN115045904B

    公开(公告)日:2025-01-03

    申请号:CN202110250767.X

    申请日:2021-03-08

    Abstract: 本发明公开了一种用于纳米定位平台的双轴柔性导向机构及其刚度建模方法。包括工作台基座和固定框架,工作台基座设定在固定框架的中部,中间有8个呈对称分布的结构相同的正弦形柔性铰链并与固定框架连接。其刚度建模方法步骤包括:利用卡式第二定理推导正弦形柔性铰链单元的柔度,然后进一步采用基于矩阵的柔度建模方法得到柔性铰链的刚度矩阵,最后再用同样的方法来获得机构的总刚度。本发明利用正弦柔性铰链可同时发生弹性伸长和弯曲变形的特性,开发了一种用于纳米定位平台的双轴柔性导向机构,能够实现两轴的解耦运动,并具有较大运动行程,减小了平台的整体尺寸及运动质量从而提高了定位平台的工作带宽。

    一种混合麦克斯韦电磁力-压电的刀具驱动装置

    公开(公告)号:CN115121815A

    公开(公告)日:2022-09-30

    申请号:CN202110317168.5

    申请日:2021-03-25

    Abstract: 本发明公开了一种混合麦克斯韦电磁力‑压电的刀具驱动装置,包括安装基体以及位于其内部的麦克斯韦电磁驱动部分、压电驱动部分以及柔性导向机构组成,同时刀具安装在动作机构部分中的压电叠堆驱动部分的前端。本发明将麦克斯韦电磁驱动和压电驱动组成级联驱动,同时利用柔性导向机构进行串联,已实现驱动刀具进行单轴往复运动,达到切削加工的目的,在保证系统宽带宽响应频率的同时,扩大该系统工作范围。本发明混合麦克斯韦电磁力‑压电的刀具驱动装置,具有结构紧凑、运动行程较大、频宽较宽、运动精度高、成本低廉等优点。

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