一种纳米多层TiAlCrZrNbSiN/TiAlSiN/TiN涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN116875940A

    公开(公告)日:2023-10-13

    申请号:CN202310593561.6

    申请日:2023-05-25

    Abstract: 本发明公开了一种纳米多层TiAlCrZrNbSiN/TiAlSiN/TiN涂层及其制备方法。该涂层由下到上包括衬底基体、Ti轰击植入层、TiN过渡层以及纳米多层TiAlCrZrNbSiN/TiAlSiN/TiN涂层;纳米多层TiAlCrZrNbSiN/TiAlSiN/TiN涂层是由调制比为2:1:1的TiAlCrZrNbSiN中间层、TiAlSiN中间层与TiN中间层交替沉积而成,调制周期为8~15nm。本发明中纳米氮化物层之间具有共格关系,可以保证涂层刀具既具有高硬度、良好的热稳定性和抗氧化性,又具有较好的韧性和膜基结合强度,因而可以显著提升刀具在高载荷作用下的使用寿命。

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