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公开(公告)号：CN117253936A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311542847.8
申请日：2023-11-20
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明涉及一种氧化镓基声表面波兼日盲紫外双模态探测器及其制备方法，所述探测器包括自下而上设置的衬底，κ‑Ga2O3压电薄膜层，金属电极层；所述金属电极层包括叉指换能器，所述叉指换能器沿宽度方向的两侧对称设置有反射栅。本发明利用κ‑Ga2O3材料的宽带隙以及压电极化特性，制备了兼具声表面波探测和日盲紫外探测双模态探测功能的探测器，所述探测器在265nm光照下可同时在声电和光导模式下工作，对日盲光波段具有较高响应，自驱动工作功耗更低，相比于其他压电材料的声表面波探测器，具有更高的谐振频率和灵敏度。
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