一种平面固态超级电容器的制备方法

    公开(公告)号:CN103413694B

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201310311940.8

    申请日:2013-07-24

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明涉及一种平面固态超级电容器的制备方法,在标准硅晶圆上使用半导体器件制造工艺中标准的化学气相沉积法、物理气相沉积法、沟槽刻蚀法、化学机械抛光法、基于硅通孔三维法等方法,制造以SiO2、Al2O3、HfO2或Ba(Sr)TiO3中的一种或几种组成的组合物为核心、与标准半导体器件相兼容的平面固态超级电容器,具有低成本、节能环保、适合大规模制造的优点。

    一种平面固态超级电容器的制备方法

    公开(公告)号:CN103413694A

    公开(公告)日:2013-11-27

    申请号:CN201310311940.8

    申请日:2013-07-24

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明涉及一种平面固态超级电容器的制备方法,在标准硅晶圆上使用半导体器件制造工艺中标准的化学气相沉积法、物理气相沉积法、沟槽刻蚀法、化学机械抛光法、基于硅通孔三维法等方法,制造以SiO2、Al2O3、HfO2或Ba(Sr)TiO3中的一种或几种组成的组合物为核心、与标准半导体器件相兼容的平面固态超级电容器,具有低成本、节能环保、适合大规模制造的优点。

    有机分子囊包的纳米金属颗粒及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN103022352A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201210499405.5

    申请日:2012-11-29

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 有机分子囊包的纳米金属颗粒及其制备方法和应用,纳米金属铟被有机分子囊包,所述有机分子为烷基硫醇,所述烷基硫醇为己硫醇或丁硫醇。这类纳米金属颗粒展示了优良的有机溶解性、有机表面润湿性和粘附性等。可以非常高效地被印刷或旋涂到有机薄膜上,形成均匀、连续和平整的金属接触薄膜。显著降低金属电极和薄膜器件之间的界面缺陷,从而降低了器件的表面接触电阻、显著提高器件的可靠性、提高光电/电光转换效率;生产过程节能环保,对于电极材料的使用率几乎达到100%;解决了大面积和超大面积光电子器件的金属电极的制造技术难点。

Patent Agency Ranking