公开(公告)号：CN116981341A

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN202310700763.6

申请日：2023-06-13

Applicant: 南京大学

Inventor： 王华兵 ,  张平 ,  吕阳阳 ,  魏子涵 ,  侯守成 ,  吴培亨

IPC: H10N60/01 ,  H10N60/12 ,  C23C14/35 ,  C23C14/18 ,  C23C14/06 ,  C23C14/00 ,  G01Q60/00

Abstract: 本发明公开一种超导约瑟夫森探针的制备方法，对带凹槽的石英毛细管进行表面处理；激光熔融拉制带槽石英纳米针尖；采用直流磁控溅射对带槽石英纳米针尖左侧和右侧分别进行超导薄膜的蒸镀，获得探针的左电极和右电极；采用直流磁控溅射正对纳米针尖顶部进行超导薄膜的蒸镀，形成两个并联的微桥型超导约瑟夫森结，完成超导约瑟夫森探针的制备。本发明有效解决了电子束蒸发难以制备高熔点超导材料如铌/氮化铌基约瑟夫森探针的问题，突破了直流磁控溅射制备约瑟夫森探针方向性差的限制，有效降低了直流磁控溅射制备约瑟夫森探针的难度，有效扩展了可用于制备超导约瑟夫森探针的超导薄膜种类，有效提高了约瑟夫森探针在高频检测方面的性能。