-
公开(公告)号：CN108281490A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201810112119.6
申请日：2018-02-05
Applicant: 南京大学
IPC: H01L29/786 , H01L21/34 , H01L21/67
CPC classification number: H01L29/7869 , H01L21/67011 , H01L29/66969
Abstract: 本发明公开了一种氧化物薄膜晶体管的制备方法及其制备装置，制备方法的步骤为，将前驱体溶解于溶剂中、将前躯体的溶液以喷雾形式均匀覆盖在衬底上、使用激光束对覆盖在衬底上的前驱体溶液进行扫描照射，使前驱体溶液热解、固化、使用溶剂将衬底上未固化的区域洗去。本发明解决了现有氧化物薄膜晶体管制备方法工序复杂、成本高昂的问题，适用于大规模生产。
Search Results
1
records
(took 0.014 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
