公开(公告)号：CN113684537B

公开(公告)日：2022-08-12

申请号：CN202110719294.3

申请日：2021-06-28

申请人： 华灿光电(浙江)有限公司

发明人： 陈张笑雄 ,  葛永晖 ,  薛涛 ,  刘春杨 ,  梅劲 ,  李鹏

IPC分类号： C30B25/08 ,  C30B25/10 ,  C30B25/12 ,  C30B28/14 ,  C30B25/16

摘要： 本公开提供了一种金属有机化学气相沉积设备及使用方法，属于外延生长技术领域。金属有机气相沉积设备包括反应腔、生长结构与加热结构。生长结构中的位于反应腔内的外延托盘可以用于对衬底进行支撑，驱动组件可以用于驱动外延托盘正常转动以实现生长。加热结构包括加热件与升降组件，相连的加热件与升降组件均位于外延托盘与反应腔的底部之间，且加热件与升降组件在外延托盘指向反应腔的底部的方向上依次分布。快速降温时，可以使外延托盘上升，加热件快速下降，温度快速变化。温度调整所需的时间较短，可以降低温度需求跨度较大的外延材料的制备成本并提高外延材料的制备效率。

公开(公告)号：CN112885768B

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN202011609284.6

申请日：2020-12-30

申请人： 华灿光电(浙江)有限公司

发明人： 王飞 ,  刘华明 ,  黄李园 ,  薛涛

IPC分类号： H01L21/687 ,  H01J37/32 ,  C30B33/12

摘要： 本公开提供了一种刻蚀烘烤设备的外延片载具，属于刻蚀烘烤设备技术领域。所述外延片载具包括：基座和放片支架，所述放片支架包括第一立板、第二立板和放片组件，所述第一立板和所述第二立板通过第一连接件平行且相对设置，所述放片组件设置在所述第一立板和所述第二立板之间以在所述第一立板和所述第二立板之间层叠放置若干外延片；所述放片支架通过所述第一立板和所述第二立板可拆卸地安装在所述基座上。本公开能够提升外延片载具放置的外延片数量。

公开(公告)号：CN113684537A

公开(公告)日：2021-11-23

申请号：CN202110719294.3

申请日：2021-06-28

申请人： 华灿光电(浙江)有限公司

发明人： 陈张笑雄 ,  葛永晖 ,  薛涛 ,  刘春杨 ,  梅劲 ,  李鹏

IPC分类号： C30B25/08 ,  C30B25/10 ,  C30B25/12 ,  C30B28/14 ,  C30B25/16

摘要： 本公开提供了一种金属有机化学气相沉积设备及使用方法，属于外延生长技术领域。金属有机气相沉积设备包括反应腔、生长结构与加热结构。生长结构中的位于反应腔内的外延托盘可以用于对衬底进行支撑，驱动组件可以用于驱动外延托盘正常转动以实现生长。加热结构包括加热件与升降组件，相连的加热件与升降组件均位于外延托盘与反应腔的底部之间，且加热件与升降组件在外延托盘指向反应腔的底部的方向上依次分布。快速降温时，可以使外延托盘上升，加热件快速下降，温度快速变化。温度调整所需的时间较短，可以降低温度需求跨度较大的外延材料的制备成本并提高外延材料的制备效率。

公开(公告)号：CN112885768A

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN202011609284.6

申请日：2020-12-30

申请人： 华灿光电(浙江)有限公司

发明人： 王飞 ,  刘华明 ,  黄李园 ,  薛涛

IPC分类号： H01L21/687 ,  H01J37/32 ,  C30B33/12

摘要： 本公开提供了一种刻蚀烘烤设备的外延片载具，属于刻蚀烘烤设备技术领域。所述外延片载具包括：基座和放片支架，所述放片支架包括第一立板、第二立板和放片组件，所述第一立板和所述第二立板通过第一连接件平行且相对设置，所述放片组件设置在所述第一立板和所述第二立板之间以在所述第一立板和所述第二立板之间层叠放置若干外延片；所述放片支架通过所述第一立板和所述第二立板可拆卸地安装在所述基座上。本公开能够提升外延片载具放置的外延片数量。