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公开(公告)号：CN102061456A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201010529996.7
申请日：2010-10-29
Applicant: 华南理工大学
IPC: C23C16/44 , C23C16/54 , H01L21/677
Abstract: 本发明公开一种用于PECVD设备的悬臂式推拉舟系统，包括悬臂杆机构、侧面连接机构和滚动直线导套副机构，用于作为悬臂杆机构水平运动和垂直运动导向的滚动直线导套副机构设于PECVD设备的机架上，悬臂杆机构固定于侧面连接机构上，侧面连接机构与滚动直线导套副机构连接，滚动直线导套副机构包括固定板、水平传动组件和垂直传动组件，通过水平传动组件和垂直传动组件分别控制悬臂杆机构带动原料进行水平运动和垂直运动。本悬臂式推拉舟系统采用由悬臂杆伸入反应腔取放石墨舟的形式，可简化输送系统，提高输送效率；采用侧面固定的形式，可避免石墨舟上硅片碎片掉落到系统上，影响系统正常动作，并可节省空间，可实现多推拉舟同时运动。
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公开(公告)号：CN102700237A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210141614.2
申请日：2012-05-09
Applicant: 华南理工大学
CPC classification number: H01L31/18 , B41F15/0881 , B41F15/26 , H01L31/0224
Abstract: 本发明公开了具有双平台的全自动视觉硅片印刷装置，包括两个硅片承载平台，两个进出板检测相机，一个丝网升降装置，一个丝网姿态调整机构，两个丝网基准点相机，一个刮墨装置，两套硅片装载装置，两套硅片卸载装置，两套缓冲运输线；两个硅片承载平台安装在一个横向移动的基座上，可交替进入印刷工位实现刮墨操作，未在印刷工位的硅片承载平台可同步装载、卸载硅片；该印刷装置采用双硅片承载平台结构，可实现换片与印刷工序过程并行，提高生产效率，且该装置结构紧凑，设备占用面积小。
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公开(公告)号：CN102855698B
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201210342871.2
申请日：2012-09-14
Applicant: 华南理工大学
IPC: G07F11/00
Abstract: 本发明公开了一种自动打饭机，包括机架，机架内自上而下依次包括挤压机构、饭斗、至少三套定量分饭装置、出饭槽、餐盘定位装置和打饭机控制系统；挤压机构包括电机、螺杆、压块，所述螺杆的一端与电机连接，另一端连接压块；每一套定量分饭装置包括定量饭槽、刀片、推块、气缸，气缸的活塞杆连接推块，推块滑动放置于定量饭槽的一端，刀片放置于定量饭槽的上方、并与定量饭槽上方的开口齐平，刀片的一端与推块固接；餐盘定位装置包括分别放置在平台周围的气缸，气缸的活塞杆端部安装有推板；采用了挤压机构、定量分饭装置、餐盘定位装置，通过与打饭机控制系统连接，实现无人监管的自助形式，提高了打饭的效率，保证了每份饭的份量的准确性。
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公开(公告)号：CN102320193A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110236733.1
申请日：2011-08-17
Applicant: 华南理工大学
IPC: B41J15/14
Abstract: 本发明公开了消除并联平台机构间隙的运动偏差补偿装置与方法，该装置的X向马达、第一Y向马达和第二Y向马达分别通过联轴器与滚珠丝杆连接，滚珠丝杆与铰链连接，铰链还通过连杆与滑块连接，滑块设置在X向滑轨或Y向滑轨中；Y轴方向为两段X向滑轨，两X向滑轨分别设置在三维坐标的Y轴方向的平台后部左、右端。该方法通过控制X向和Y向马达的运动次序，使平台静止时始终保持X向马达为推动，第一Y向马达为拉动，第二Y向马达为推动的滑块与滑轨连接以及铰链连接的约束状态，使平台保持一种固定姿态。本发明可以消除因间隙带来的平台调整姿态不确定而导致平台运动时产生的随机误差，从而提高了平台的定位精度、印刷精度与印刷稳定性。
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公开(公告)号：CN102855698A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201210342871.2
申请日：2012-09-14
Applicant: 华南理工大学
IPC: G07F11/00
Abstract: 本发明公开了一种自动打饭机，包括机架，机架内自上而下依次包括挤压机构、饭斗、至少三套定量分饭装置、出饭槽、餐盘定位装置和打饭机控制系统；挤压机构包括电机、螺杆、压块，所述螺杆的一端与电机连接，另一端连接压块；每一套定量分饭装置包括定量饭槽、刀片、推块、气缸，气缸的活塞杆连接推块，推块滑动放置于定量饭槽的一端，刀片放置于定量饭槽的上方、并与定量饭槽上方的开口齐平，刀片的一端与推块固接；餐盘定位装置包括分别放置在平台周围的气缸，气缸的活塞杆端部安装有推板；采用了挤压机构、定量分饭装置、餐盘定位装置，通过与打饭机控制系统连接，实现无人监管的自助形式，提高了打饭的效率，保证了每份饭的份量的准确性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102700237B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201210141614.2
申请日：2012-05-09
Applicant: 华南理工大学
CPC classification number: H01L31/18 , B41F15/0881 , B41F15/26 , H01L31/0224
Abstract: 本发明公开了具有双平台的全自动视觉硅片印刷装置，包括两个硅片承载平台，两个进出板检测相机，一个丝网升降装置，一个丝网姿态调整机构，两个丝网基准点相机，一个刮墨装置，两套硅片装载装置，两套硅片卸载装置，两套缓冲运输线；两个硅片承载平台安装在一个横向移动的基座上，可交替进入印刷工位实现刮墨操作，未在印刷工位的硅片承载平台可同步装载、卸载硅片；该印刷装置采用双硅片承载平台结构，可实现换片与印刷工序过程并行，提高生产效率，且该装置结构紧凑，设备占用面积小。
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公开(公告)号：CN102061456B
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201010529996.7
申请日：2010-10-29
Applicant: 华南理工大学
IPC: C23C16/44 , C23C16/54 , H01L21/677
Abstract: 本发明公开一种用于PECVD设备的悬臂式推拉舟系统，包括悬臂杆机构、侧面连接机构和滚动直线导套副机构，用于作为悬臂杆机构水平运动和垂直运动导向的滚动直线导套副机构设于PECVD设备的机架上，悬臂杆机构固定于侧面连接机构上，侧面连接机构与滚动直线导套副机构连接，滚动直线导套副机构包括固定板、水平传动组件和垂直传动组件，通过水平传动组件和垂直传动组件分别控制悬臂杆机构带动原料进行水平运动和垂直运动。本悬臂式推拉舟系统采用由悬臂杆伸入反应腔取放石墨舟的形式，可简化输送系统，提高输送效率；采用侧面固定的形式，可避免石墨舟上硅片碎片掉落到系统上，影响系统正常动作，并可节省空间，可实现多推拉舟同时运动。
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公开(公告)号：CN201908132U
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN201020590341.6
申请日：2010-10-29
Applicant: 华南理工大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本实用新型公开一种用于PECVD设备的悬臂式推拉舟系统，包括悬臂杆机构、侧面连接机构和滚动直线导套副机构，用于作为悬臂杆机构水平运动和垂直运动导向的滚动直线导套副机构设于PECVD设备的机架上，悬臂杆机构固定于侧面连接机构上，侧面连接机构与滚动直线导套副机构连接，滚动直线导套副机构包括固定板、水平传动组件和垂直传动组件，通过水平传动组件和垂直传动组件分别控制悬臂杆机构带动原料进行水平运动和垂直运动。本悬臂式推拉舟系统采用由悬臂杆伸入反应腔取放石墨舟的形式，可简化输送系统，提高输送效率；采用侧面固定的形式，可避免石墨舟上硅片碎片掉落到系统上，影响系统正常动作，并可节省空间，可实现多推拉舟同时运动。
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公开(公告)号：CN202805899U
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201220205705.3
申请日：2012-05-09
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本实用新型公开了具有双平台的全自动视觉硅片印刷装置，包括两个硅片承载平台，两个进出板检测相机，一个丝网升降装置，一个丝网姿态调整机构，两个丝网基准点相机，一个刮墨装置，两套硅片装载装置，两套硅片卸载装置，两套缓冲运输线；两个硅片承载平台安装在一个横向移动的基座上，可交替进入印刷工位实现刮墨操作，未在印刷工位的硅片承载平台可同步装载、卸载硅片；该印刷装置采用双硅片承载平台结构，可实现换片与印刷工序过程并行，提高生产效率，且该装置结构紧凑，设备占用面积小。
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公开(公告)号：CN202213302U
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201120299987.3
申请日：2011-08-17
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本实用新型公开了消除并联平台机构间隙的运动偏差补偿装置，该装置X向马达、第一Y向马达和第二Y向马达分别通过联轴器与滚珠丝杆连接，滚珠丝杆与铰链连接，铰链还通过连杆与滑块连接，滑块设置在X向滑轨或Y向滑轨中；Y轴方向为两段X向滑轨，两X向滑轨分别设置在三维坐标的Y轴方向的平台后部左、右端。该装置通过控制X向和Y向马达的运动次序，使平台静止时始终保持X向马达为推动，第一Y向马达为拉动，第二Y向马达为推动的滑块与滑轨连接以及铰链连接的约束状态，使平台保持一种固定姿态。本实用新型可以消除因间隙带来的平台调整姿态不确定而导致平台运动时产生的随机误差，从而提高了平台的定位精度、印刷精度与印刷稳定性。
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