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公开(公告)号：CN111026166A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911321936.3
申请日：2019-12-20
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了平面二自由度宏微复合定位系统及控制方法。其中，平面二自由度宏微复合定位系统，包括宏动台基准座、X轴宏动平台、Y轴宏动平台以及具有X轴激光发射器和Y轴激光发射器的激光干涉仪；XY轴微动平台，通过四组相同的柔性铰链安装在Y轴宏动平台上，XY轴微动平台上设有驱使柔性铰链变形使XY轴微动平台运动的压电陶瓷和用于检测压电陶瓷位移的电容传感器；反射镜安装架具有X轴反射镜和Y轴反射镜；运动控制卡，用于接收XY轴微动平台的位置信息并通过压电陶瓷驱使XY轴微动平台移动，运动控制卡通过压电陶瓷驱动器控制压电陶瓷运动。本发明具有采样频率高、测量精度高的优点。
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公开(公告)号：CN110136771B
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN201910258255.0
申请日：2019-04-01
Applicant: 华南理工大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明公开了一种高带宽两自由度并联柔顺精密定位平台，包括：固定机架，设置有中心镂空部和偏置镂空部；四组柔顺单元，两两相对地呈十字形对称连接设置在所述中心镂空部内壁上；末端移动平台，位于中心镂空部中心且与各个柔顺单元的柔性铰链端相连接，为平台提供载物条件；两个压电叠堆驱动器，分别设置在两个所述偏置镂空部内，且前端作用于对应的柔顺单元后端，为末端移动平台提供高频率的驱动力；两个高带宽电容传感器，用于获取末端移动平台X、Y方向的位移信息；两组改进的楔块式预紧装置，固定在所述固定机架上用于预紧压电叠堆驱动器。本发明具有高带宽、高精度、低耦合的特点，可解决目前定位平台响应慢、耦合性能差的问题。
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公开(公告)号：CN111026166B
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN201911321936.3
申请日：2019-12-20
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了平面二自由度宏微复合定位系统及控制方法。其中，平面二自由度宏微复合定位系统，包括宏动台基准座、X轴宏动平台、Y轴宏动平台以及具有X轴激光发射器和Y轴激光发射器的激光干涉仪；XY轴微动平台，通过四组相同的柔性铰链安装在Y轴宏动平台上，XY轴微动平台上设有驱使柔性铰链变形使XY轴微动平台运动的压电陶瓷和用于检测压电陶瓷位移的电容传感器；反射镜安装架具有X轴反射镜和Y轴反射镜；运动控制卡，用于接收XY轴微动平台的位置信息并通过压电陶瓷驱使XY轴微动平台移动，运动控制卡通过压电陶瓷驱动器控制压电陶瓷运动。本发明具有采样频率高、测量精度高的优点。
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公开(公告)号：CN110136771A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910258255.0
申请日：2019-04-01
Applicant: 华南理工大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明公开了一种高带宽两自由度并联柔顺精密定位平台，包括：固定机架，设置有中心镂空部和偏置镂空部；四组柔顺单元，两两相对地呈十字形对称连接设置在所述中心镂空部内壁上；末端移动平台，位于中心镂空部中心且与各个柔顺单元的柔性铰链端相连接，为平台提供载物条件；两个压电叠堆驱动器，分别设置在两个所述偏置镂空部内，且前端作用于对应的柔顺单元后端，为末端移动平台提供高频率的驱动力；两个高带宽电容传感器，用于获取末端移动平台X、Y方向的位移信息；两组改进的楔块式预紧装置，固定在所述固定机架上用于预紧压电叠堆驱动器。本发明具有高带宽、高精度、低耦合的特点，可解决目前定位平台响应慢、耦合性能差的问题。
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