公开(公告)号：CN109392201B

公开(公告)日：2020-09-08

申请号：CN201811289990.X

申请日：2018-10-31

Applicant: 华中科技大学 ,  北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)

Inventor： 刘建国 ,  王洪宇 ,  王大志 ,  郑佳晶 ,  张奇 ,  曾晓雁

IPC: H05B3/40 ,  H05B3/02 ,  H05B1/02

Abstract: 本发明属于加热控制领域，并具体公开了一种多段可控式加热平台装置及加热控制方法，该装置包括加热平台控制模块和加热平台模块，加热平台控制模块用于实现加热平台模块温度的控制，加热平台模块包括加热平台及固定支撑散热箱，加热平台用于实现待加热材料的加热及定位，其上设置有测温器和加热棒，测温器用于将加热平台的温度传输至加热平台控制模块中，加热平台控制模块通过控制加热棒温度的升降以改变加热平台的温度；所述方法通过所述装置实现加热平台加热温度、加热速率、恒温时间等参数的调节。本发明可实现加热温度、加热速率、恒温时间等参数在室温至500℃范围内连续调节，温控精度不低于2℃，具有调节精度高、可靠方便等优点。

公开(公告)号：CN109392201A

公开(公告)日：2019-02-26

申请号：CN201811289990.X

申请日：2018-10-31

Applicant: 华中科技大学 ,  北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)

Inventor： 刘建国 ,  王洪宇 ,  王大志 ,  郑佳晶 ,  张奇 ,  曾晓雁

IPC: H05B3/40 ,  H05B3/02 ,  H05B1/02

Abstract: 本发明属于加热控制领域，并具体公开了一种多段可控式加热平台装置及加热控制方法，该装置包括加热平台控制模块和加热平台模块，加热平台控制模块用于实现加热平台模块温度的控制，加热平台模块包括加热平台及固定支撑散热箱，加热平台用于实现待加热材料的加热及定位，其上设置有测温器和加热棒，测温器用于将加热平台的温度传输至加热平台控制模块中，加热平台控制模块通过控制加热棒温度的升降以改变加热平台的温度；所述方法通过所述装置实现加热平台加热温度、加热速率、恒温时间等参数的调节。本发明可实现加热温度、加热速率、恒温时间等参数在室温至500℃范围内连续调节，温控精度不低于2℃，具有调节精度高、可靠方便等优点。