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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115767960A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211596735.6
申请日：2022-12-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于集成电路封装相关技术领域，其公开了一种叠层电路结构及其制备方法，该方法包括以下步骤：(1)在陶瓷板相背的两个表面上制备图案化线路，并在所述陶瓷板上制备互通孔道，所述互通孔道连接两个所述图案化线路；所述图案化线路上贴装有半导体器件；(2)在一个所述图案化线路上依次制备多个隔离层及多层电路以得到所述叠层电路结构；所述隔离层与所述电路交互设置；所述电路上贴装有半导体器件，所述半导体器件嵌设在对应的隔离层内，所述隔离层开设有互通孔道，所述互通孔道连接相邻的两层电路。本发明通过磁控溅射的工艺方式形成叠层电路结构，简化了原有多层电路制作工艺步骤。
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公开(公告)号：CN116130406A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202310255469.9
申请日：2023-03-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/762 , H01L21/67 , B23K26/50
Abstract: 本发明属于半导体器件制造技术领域，公开了一种基于气动直写工艺的晶圆浅沟道聚合物填充固化方法，步骤包括：对晶圆浅沟道通过激光扫描测定其几何特征；基于几何特征，在晶圆浅沟道的各沟道交叉处先填充一层绝缘隔离聚合物并利用点阵热源加热定形；在各沟道交叉处之间的未填充区填充绝缘隔离聚合物，直至使晶圆浅沟道内先后填充的绝缘隔离聚合物的高度保持平齐，然后利用点阵热源对先后填充的绝缘隔离聚合物全部加热固化；重复前述步骤，直至将晶圆浅沟道完全填充平整。本发明能将快速高效地将绝缘隔离填充物质按照规划路径高速直写填充到晶圆浅沟道中，并且在填充过程中能精细控制填充量，节约填充成本。
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公开(公告)号：CN116130406B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310255469.9
申请日：2023-03-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/762 , H01L21/67 , B23K26/50
Abstract: 本发明属于半导体器件制造技术领域，公开了一种基于气动直写工艺的晶圆浅沟道聚合物填充固化方法，步骤包括：对晶圆浅沟道通过激光扫描测定其几何特征；基于几何特征，在晶圆浅沟道的各沟道交叉处先填充一层绝缘隔离聚合物并利用点阵热源加热定形；在各沟道交叉处之间的未填充区填充绝缘隔离聚合物，直至使晶圆浅沟道内先后填充的绝缘隔离聚合物的高度保持平齐，然后利用点阵热源对先后填充的绝缘隔离聚合物全部加热固化；重复前述步骤，直至将晶圆浅沟道完全填充平整。本发明能将快速高效地将绝缘隔离填充物质按照规划路径高速直写填充到晶圆浅沟道中，并且在填充过程中能精细控制填充量，节约填充成本。
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公开(公告)号：CN113855014B
公开(公告)日：2023-02-10
申请号：CN202111234793.X
申请日：2021-10-22
Applicant: 华中科技大学
IPC: A61B5/1455 , A61B5/00 , G01K13/20 , C08F220/56 , C09J133/26 , H02J50/10
Abstract: 本发明属于医疗检测相关技术领域，其公开了一种用于术后皮瓣与断指检测的无线供电混合电子系统，系统包括：双面柔性器件集成层包括通信连接的顶面检测模块层以及底面信号处理输出模块层，顶面检测模块层包括血氧检测传感器和体温检测传感器；自粘抗脱水水凝胶粘附层设于双面柔性器件集成层的表面，自粘抗脱水水凝胶粘附层表面结构为凸起和微沟道；底面信号处理输出模块层包括NFC无线供电模块和输出单元，NFC无线供电模块用于实现无线充电，输出单元用于与移动终端App通信进而将血氧检测传感器和体温检测传感器的检测结果可视化显示。本申请提出了一种粘附性能好，无线充电集成度高、体积小的检测设备，为传感器长时间检测人体状态提供了可能。
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公开(公告)号：CN113855014A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202111234793.X
申请日：2021-10-22
Applicant: 华中科技大学
IPC: A61B5/1455 , A61B5/00 , G01K13/20 , C08F220/56 , C09J133/26 , H02J50/10
Abstract: 本发明属于医疗检测相关技术领域，其公开了一种用于术后皮瓣与断指检测的无线供电混合电子系统，系统包括：双面柔性器件集成层包括通信连接的顶面检测模块层以及底面信号处理输出模块层，顶面检测模块层包括血氧检测传感器和体温检测传感器；自粘抗脱水水凝胶粘附层设于双面柔性器件集成层的表面，自粘抗脱水水凝胶粘附层表面结构为凸起和微沟道；底面信号处理输出模块层包括NFC无线供电模块和输出单元，NFC无线供电模块用于实现无线充电，输出单元用于与移动终端App通信进而将血氧检测传感器和体温检测传感器的检测结果可视化显示。本申请提出了一种粘附性能好，无线充电集成度高、体积小的检测设备，为传感器长时间检测人体状态提供了可能。
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