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公开(公告)号：CN100446722C
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：CN200610125600.6
申请日：2006-12-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS的智能服装及其制备方法，可用于采集心电、心音等人体生理参数，该智能服装的功能是通过将柔性传感器阵列薄膜与纺织品整合的方式来实现的：首先，在晶圆上采用MEMS技术分别制作出声/电换能器及其电气互联结构。其次，在晶圆的反面刻蚀出硅岛图形，使得每个传感器之间相互孤立。再次，在晶圆的正反面旋涂上聚合物，并对其进行光刻图形化出传感器窗口以及缝纫孔，即得到柔性传感器阵列薄膜。聚合物起到对传感器的保护作用，缝纫孔可用于让导电纤维将传感器传感器阵列薄膜与纺织品缝合于一体，即得到有特定功能的智能服装。本发明采用MEMS制作工艺，重复性好，可靠性高，可大批量制造，成本较低，具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN1619259A
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：CN200410061275.2
申请日：2004-12-06
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性传感器的制作方法，步骤为：制作刚性传感器；在刚性传感器的晶片前表面上旋涂一层10－15μm厚的聚酰亚胺，再甩20－30μm厚的光刻胶；晶片后表面被深刻蚀减至60－80μm厚，形成硅岛；在后表面沉积一层300－500nm厚的氮化硅，光刻成形后，刻蚀硅片直到金属层；然后采用反应离子刻蚀方法刻蚀步骤(4)沉积的氮化硅；旋涂另一层10－15μm厚的聚酰亚胺于后表面来覆盖硅岛，即获得传感器可以卷曲起来，并广泛应用于非平面表面。柔性传感器制作成创可贴式的，随意贴于人体皮肤上，也可以运用于飞行器的控制领域。柔性传感器作为一个的新发展领域，将大大促进MEMS传感器的应用前景和应用范围。
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公开(公告)号：CN100998501A
公开(公告)日：2007-07-18
申请号：CN200610125600.6
申请日：2006-12-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS的智能服装及其制备方法，可用于采集心电、心音等人体生理参数，该智能服装的功能是通过将柔性传感器阵列薄膜与纺织品整合的方式来实现的：首先，在晶圆上采用MEMS技术分别制作出声/电换能器及其电气互联结构。其次，在晶圆的反面刻蚀出硅岛图形，使得每个传感器之间相互孤立。再次，在晶圆的正反面旋涂上聚合物，并对其进行光刻图形化出传感器窗口以及缝纫孔，即得到柔性传感器阵列薄膜。聚合物起到对传感器的保护作用，缝纫孔可用于让导电纤维将传感器传感器阵列薄膜与纺织品缝合于一体，即得到有特定功能的智能服装。本发明采用MEMS制作工艺，重复性好，可靠性高，可大批量制造，成本较低，具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN201018960Y
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200720084176.5
申请日：2007-04-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种基于MEMS的智能服装，可用于采集心电、心音等人体生理参数，该智能服装的功能是通过将柔性传感器阵列薄膜与纺织品整合的方式来实现的：首先，在晶圆上采用MEMS技术分别制作出声/电换能器及其电气互联结构。其次，在晶圆的反面刻蚀出硅岛图形，使得每个传感器之间相互孤立。再次，在晶圆的正反面旋涂上聚合物，并对其进行光刻图形化出传感器窗口以及缝纫孔，即得到柔性传感器阵列薄膜。聚合物起到对传感器的保护作用，缝纫孔可用于让导电纤维将传感器传感器阵列薄膜与纺织品缝合于一体，即得到有特定功能的智能服装。本实用新型采用MEMS制作工艺，重复性好，可靠性高，可大批量制造，成本较低，具有广泛的应用前景。
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