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公开(公告)号:CN101217180B
公开(公告)日:2012-05-09
申请号:CN200810046660.8
申请日:2008-01-09
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L41/22
Abstract: 本发明公开了一种无铅压电厚膜的丝网印刷制备方法,包括:①固相法制备无铅压电陶瓷粉体;②将粘合剂按质量比为3∶100~9∶100溶解到松油醇中得到有机混合物;③将无铅压电陶瓷粉料与有机混合物按质量比15∶10~90∶10混合,加入分散剂,增塑剂混合碾磨后再球磨,得到待印刷浆料;④将浆料通过丝网印刷工艺印刷到基片上,经过放平,烘烤,预烧并重复得到所需厚度的厚膜素坯;⑤将素坯在1050~1300℃下烧结,保温15~45分钟即可。本发明工艺简单,环保,成膜效率高,可重复性好,成膜较致密,电性能优异,厚度可在10~100μm内随意控制,可无需光刻工艺得到各种印刷厚膜图形,与MEMS技术兼容,适合于制备压电微马达、微流体泵、超声换能器及微执行器。
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公开(公告)号:CN101333109B
公开(公告)日:2010-10-13
申请号:CN200810048368.X
申请日:2008-07-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: C04B35/49 , C04B35/622
Abstract: 本发明公开了一种宽温区相变型热释电陶瓷材料的制备方法,包括:①根据化学式Pb[(Mn0.33Nb0.67)0.5(Mn0.33Sb0.67)0.5]0.08(ZrxTi1-x)0.92O3,其中,x表示Zr与Ti之间的摩尔分数比,0.80≤x≤0.98,在x的取值范围内选取二个不同的值,将PbO、ZrO2、TiO2、Nb2O5、Sb2O3粉体和Mn(NO3)2按各自化学式中的化学计量比进行混合,得到二种混合物;②将二种混合物分别在800~900℃保温4~6小时,得到预烧粉体;③将上述预烧粉体作为基料,按质量比1∶2~2∶1进行混合,将粉体成型后,在1250~1300℃保温2~3h进行烧结;④将烧结后的材料进行磨片、清洗、上电极和烧电极;⑤将烧电极后的材料进行极化,然后保压冷却到室温。本发明制备的混合PMN-PMS-PZT热释电陶瓷在较宽的温度范围内具有较高的热释电系数,良好综合热释电性能,符合制作热释电红外探测器的要求。
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公开(公告)号:CN101625268B
公开(公告)日:2010-12-29
申请号:CN200910063080.4
申请日:2009-07-07
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种制备多孔钛酸锶钡场致热释电陶瓷的方法,先将原料按各自化学式中的化学计量比进行混合,再对混合物进行预烧,温度为800~1200℃,保温时间为1~6小时,得到预烧后的陶瓷粉体;然后加入有机物造孔剂,混合均匀后压片成形;再加热使有机物排除;进行烧结、磨片、清洗、上电极和烧电极。本发明制备的多孔BST场致热释电陶瓷具有较高的热释电系数,低的介电损耗和合适的介电常数,具有良好综合热释电性能,符合制作热释电红外探测器的要求。
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公开(公告)号:CN101217180A
公开(公告)日:2008-07-09
申请号:CN200810046660.8
申请日:2008-01-09
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L41/22
Abstract: 本发明公开了一种无铅压电厚膜的丝网印刷制备方法,包括:①固相法制备无铅压电陶瓷粉体;②将粘合剂按质量比为3∶100~9∶100溶解到松油醇中得到有机混合物;③将无铅压电陶瓷粉料与有机混合物按质量比15∶10~90∶10混合,加入分散剂,增塑剂混合碾磨后再球磨,得到待印刷浆料;④将浆料通过丝网印刷工艺印刷到基片上,经过放平,烘烤,预烧并重复得到所需厚度的厚膜素坯;⑤将素坯在1050~1300℃下烧结,保温15~45分钟即可。本发明工艺简单,环保,成膜效率高,可重复性好,成膜较致密,电性能优异,厚度可在10~100μm内随意控制,可无需光刻工艺得到各种印刷厚膜图形,与MEMS技术兼容,适合于制备压电微马达、微流体泵、超声换能器及微执行器。
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公开(公告)号:CN100361933C
公开(公告)日:2008-01-16
申请号:CN200610019451.5
申请日:2006-06-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: C04B35/462 , C04B35/624 , C04B33/28
Abstract: 本发明公开了一种热释电陶瓷材料的制备方法,包括①将Pb3O4、La2O3、CaCO3和TiO2混合,再进行球磨,烘干,过筛,预烧,球磨,烘干和过筛制备成粉料;②将硅酸乙脂溶于去离子水和酒精的混合液中,再加入盐酸,混合搅拌,制备成水解液;③将粉料与水解液混合搅拌均匀制成浆料;④将浆料通过真空除泡,在模具内浇注;调节pH值,再将浆料快速凝固,干燥形成坯体;⑤将坯体进行高温烧结,烧结温度为1100~1200℃,保温制得所需的热释电陶瓷材料。采用本发明方法所制备的陶瓷材料具有低的相对介电常数、很高的热释电系数、高探测率优值,其性能能够满足制备高灵敏度单元热释电红外传感器和非致冷焦平面红外传感器对材料性能上的要求。
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公开(公告)号:CN1884194A
公开(公告)日:2006-12-27
申请号:CN200610019451.5
申请日:2006-06-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: C04B35/462 , C04B35/624 , C04B33/28
Abstract: 本发明公开了一种热释电陶瓷材料,结构式为Pb1-x-yLaxCayTi1-x/4O3,x,y=0.1-0.2。上述材料的凝胶注模成型方法,包括①将Pb3O4、La2O3、CaCO3和TiO2混合,再进行球磨,烘干,过筛,预烧,球磨,烘干和过筛制备成粉料;②将硅酸乙酯溶于去离子水和酒精的混合液中,再加入盐酸,混合搅拌,制备成水解液;③将粉料与水解液混合搅拌均匀制成浆料;④将浆料通过真空除泡,在模具内浇注;调节pH值,再将浆料快速凝固,干燥形成坯体;⑤将坯体进行高温烧结,烧结温度为1100~1200℃,保温制得所需的热释电陶瓷材料。本发明陶瓷材料具有低的相对介电常数、很高的热释电系数、高探测率优值,其性能能够满足制备高灵敏度单元热释电红外传感器和非致冷焦平面红外传感器对材料性能上的要求。
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公开(公告)号:CN101625268A
公开(公告)日:2010-01-13
申请号:CN200910063080.4
申请日:2009-07-07
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种制备多孔钛酸锶钡场致热释电陶瓷的方法,先将原料按各自化学式中的化学计量比进行混合,再对混合物进行预烧,温度为800~1200℃,保温时间为1~6小时,得到预烧后的陶瓷粉体;然后加入有机物造孔剂,混合均匀后压片成形;再加热使有机物排除;进行烧结、磨片、清洗、上电极和烧电极。本发明制备的多孔BST场致热释电陶瓷具有较高的热释电系数,低的介电损耗和合适的介电常数,具有良好综合热释电性能,符合制作热释电红外探测器的要求。
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公开(公告)号:CN101333109A
公开(公告)日:2008-12-31
申请号:CN200810048368.X
申请日:2008-07-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: C04B35/49 , C04B35/622
Abstract: 本发明公开了一种宽温区相变型热释电陶瓷材料的制备方法,包括:①根据化学式Pb[(Mn0.33Nb0.67)0.5(Mn0.33Sb0.67)0.5]0.08(ZrxTi1-x)0.92O3,其中,x表示Zr与Ti之间的摩尔分数比,0.80≤x≤0.98,在x的取值范围内选取二个不同的值,将PbO、ZrO2、TiO2、Nb2O5、Sb2O3粉体和Mn(NO3)2按各自化学式中的化学计量比进行混合,得到二种混合物;②将二种混合物分别在800~900℃保温4~6小时,得到预烧粉体;③将上述预烧粉体作为基料,按质量比1∶2~2∶1进行混合,将粉体成型后,在1250~1300℃保温2~3h进行烧结;④将烧结后的材料进行磨片、清洗、上电极和烧电极;⑤将烧电极后的材料进行极化,然后保压冷却到室温。本发明制备的混合PMN-PMS-PZT热释电陶瓷在较宽的温度范围内具有较高的热释电系数,良好综合热释电性能,符合制作热释电红外探测器的要求。
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