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公开(公告)号：CN206742259U
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201720632023.3
申请日：2017-05-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/12 , H01L31/173 , H01L31/105 , H01S5/026
Abstract: 本实用新型公开了一种新型的VCSOA-PIN集成光探测器，为垂直腔半导体光放大器与PIN光电二极管在垂直方向上单片集成的光探测器，其自下而上包括底部电极、PIN部分、台下电极区、VCSOA部分和台上电极区，所述底部电极、台上电极区和台下电极区为所述VCSOA部分和所述PIN部分提供偏置；具有体积小、工艺简单、成本较低、适合大规模生产的优点，其理想设计仿真效果证实其增益带宽积最大可以达到490GHz，而现有垂直入射型的APD只有350GHz左右。
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