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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1233874C
公开(公告)日：2005-12-28
申请号：CN03125279.6
申请日：2003-08-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种激光电化学微制造装置，其结构为：可更换的衬里位于外壳内，外壳上设有可活动盖板，盖板上设有电源正、负接线柱、进气口、排气口和可更换的激光窗口，第一、第二电极支架相互垂直，并分别通过二组固定在盖板上的调节丝杆和调节螺母调节其距离和位置，在第一电极支架上设置有一对可移动的电极夹具。本发明所说的装置采用可以更换或可以进行调节的部件，根据不同的工艺要求，增减某些部件或连接，使得该装置适应于激光微制造、化学微制造、电化学微制造、激光化学微制造和激光电化学微制造工艺，并可以满足上述工艺中参数和条件变化的要求。同时该装置通过更换或调节某些部件达到上述目的，具有设计简单、安装调节方便、制造成本低廉的特点。
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公开(公告)号：CN1488779A
公开(公告)日：2004-04-14
申请号：CN03125279.6
申请日：2003-08-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种多用途激光电化学微制造装置，其结构为：可更换的衬里位于外壳内，外壳上设有可活动盖板，盖板上设有电源正、负接线柱、进气口、排气口和可更换的激光窗口，电极支架相互垂直，并分别通过二组固定在盖板上的调节丝杆和调节螺母调节其距离和位置，在电极支架上设置有一对可移动的电极夹具。本发明所说的装置采用可以更换或可以进行调节的部件，根据不同的工艺要求，增减某些部件或连接，使得该装置适应于激光微制造、化学微制造、电化学微制造、激光化学微制造和激光电化学微制造工艺，并可以满足上述工艺中参数和条件变化的要求。同时该装置通过更换或调节某些部件达到上述目的，具有设计简单、安装调节方便、制造成本低廉的特点。
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公开(公告)号：CN1259598C
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN200310111573.3
申请日：2003-12-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微制造领域，针对传统方法缺点，把准分子激光、集成电路制版光刻、电化学和扫描探针显微技术融合成新的加工方法，步骤为：(1)首先制备显微探针阵列；(2)将基片固定于平板电极和显微探针阵列之间，产生负压，注入保护气体；(3)注入电解质溶液后在电极之间施加电压，同时通入准分子激光控制电化学反应，完成加工过程。相应装置在激光微加工机工作台上装电化学反应室，它包括激光气动窗口、保护气体入口、真空泵接口、电解质溶液入口、显微探针阵列、平板电极、辅助电化学反应气体入口和废物出口。利用本发明可在金属、半导体基片上得到宽深比5-50、特征尺寸1-50微米的微结构，在环保、纺织、造纸、能源、信息和国防等领域有广泛用途。
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公开(公告)号：CN1547079A
公开(公告)日：2004-11-17
申请号：CN200310111573.3
申请日：2003-12-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微制造领域，针对传统方法缺点，把准分子激光、集成电路制版光刻、电化学和扫描探针显微技术融合成新的加工方法，步骤为：(1)首先制备显微探针阵列；(2)将基片固定于平板电极和显微探针阵列之间，产生负压，注入保护气体；(3)注入电解质溶液后在电极之间施加电压，同时通入准分子激光控制电化学反应，完成加工过程。相应装置在激光微加工机工作台上装电化学反应室，它包括激光气动窗口、保护气体入口、真空泵接口、电解质溶液入口、显微探针阵列、平板电极、辅助电化学反应气体入口和废物出口。利用本发明可在金属、半导体基片上得到宽深比5－50、特征尺寸1－50微米的微结构，在环保、纺织、造纸、能源、信息和国防等领域有广泛用途。
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公开(公告)号：CN2652949Y
公开(公告)日：2004-11-03
申请号：CN03255128.2
申请日：2003-08-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种多用途激光电化学微制造装置，其结构为：可更换的衬里位于外壳内，外壳上设有可活动盖板，盖板上设有电源正、负接线柱、进气口、排气口和可更换的激光窗口，电极支架相互垂直，并分别通过二组固定在盖板上的调节丝杆和调节螺母调节其距离和位置，在电极支架上设置有一对可移动的电极夹具。本实用新型所说的装置采用可以更换或可以进行调节的部件，根据不同的工艺要求，增减某些部件或连接，使得该装置适应于激光微制造、化学微制造、电化学微制造、激光化学微制造和激光电化学微制造工艺，并可以满足上述工艺中参数和条件变化的要求。同时该装置通过更换或调节某些部件达到上述目的，具有设计简单、安装调节方便、制造成本低廉的特点。
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