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公开(公告)号:CN105088333A
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201510569421.0
申请日:2015-09-09
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种泡生法蓝宝石晶体生长炉,包括炉体、坩埚、炉盖和籽晶杆,所述炉体为底端封闭的筒体,所述炉体内设有圆筒状的侧隔热屏,炉体内底部设置有底部保温层和支架,所述底部保温层的顶部放置有底部反射屏,所述支架上放置所述坩埚,所述坩埚位于所述底部反射屏上方;所述炉盖底面设置有第一顶部隔热屏;围绕所述坩埚安装有侧加热器;所述炉体内还设置有底部加热器。本发明通过对加热器结构设计、隔热屏布置改进及其表面处理不仅能够灵活调控加热器功率为晶体生长提供良好的热场环境,提高晶体质量,而且还能显著地强化隔热系统保温效果,大大延长隔热屏使用寿命,进而降低蓝宝石晶锭总的生产成本。
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公开(公告)号:CN205011859U
公开(公告)日:2016-02-03
申请号:CN201520705873.2
申请日:2015-09-09
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种泡生法蓝宝石晶体生长炉,包括炉体、坩埚、炉盖和籽晶杆,所述炉体为底端封闭的筒体,所述炉体内设有圆筒状的侧隔热屏,炉体内底部设置有底部保温层和支架,所述底部保温层的顶部放置有底部反射屏,所述支架上放置所述坩埚,所述坩埚位于所述底部反射屏上方;所述炉盖底面设置有第一顶部隔热屏;围绕所述坩埚安装有侧加热器;所述炉体内还设置有底部加热器。本实用新型通过对加热器结构设计、隔热屏布置改进及其表面处理不仅能够灵活调控加热器功率为晶体生长提供良好的热场环境,提高晶体质量,而且还能显著地强化隔热系统保温效果,大大延长隔热屏使用寿命,进而降低蓝宝石晶锭总的生产成本。
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