-
公开(公告)号：CN110567393A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910729054.4
申请日：2019-08-08
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种大曲率半径自由曲面镜面面形干涉测量装置及方法。其中测量装置包括干涉仪、CGH、光学透镜，通过在CGH设置主检测区域、与光学透镜对准区域、与干涉仪对准区域、镜面基准区域及透镜基准区域五种衍射区域对装置中的光学器件之间的位置进行调整，从而保证了检测光路中各光学元件的精确对准；本发明通过利用光学透镜对检测光路长度进行缩短，同时结合计算全息元件对待测自由曲面反射镜进行零位补偿，解决了现有技术由于在检测大曲率半径光学元件时检测光路的光程较长而导致的对测量环境要求较高测量困难的问题，为现代先进光学系统的制造开发提供保证，具有检测精度高，检测场地环境及尺寸要求简单等优点。
-
公开(公告)号：CN110567392A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910713356.2
申请日：2019-08-02
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于先进光学系统技术领域，公开了一种凸自由曲面反射镜面形测试方法，能够构建由干涉仪、空间光调制器、球面反射镜、凸自由曲面反射镜组成的精确测试光路；其中，空间光调制器被划分为四种调制区域，分别用于对凸自由曲面反射镜进行测量、与干涉仪对准、与球面反射镜对准、以及投射十字线。本发明通过对测试光路的整体设计及光学元器件对准方式等进行改进，构建的精确测试光路能够基于混合补偿干涉测量凸自由曲面反射镜，与现有技术相比提供了一种新的测试思路，尤其能够有效解决大口径凸面干涉测量困难的问题，该方法通过利用球面反射镜提供会聚光路，同时结合空间光调制器对凸自由曲面反射镜完成零位补偿。
-
公开(公告)号：CN110567392B
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN201910713356.2
申请日：2019-08-02
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于先进光学系统技术领域，公开了一种凸自由曲面反射镜面形测试方法，能够构建由干涉仪、空间光调制器、球面反射镜、凸自由曲面反射镜组成的精确测试光路；其中，空间光调制器被划分为四种调制区域，分别用于对凸自由曲面反射镜进行测量、与干涉仪对准、与球面反射镜对准、以及投射十字线。本发明通过对测试光路的整体设计及光学元器件对准方式等进行改进，构建的精确测试光路能够基于混合补偿干涉测量凸自由曲面反射镜，与现有技术相比提供了一种新的测试思路，尤其能够有效解决大口径凸面干涉测量困难的问题，该方法通过利用球面反射镜提供会聚光路，同时结合空间光调制器对凸自由曲面反射镜完成零位补偿。
-
公开(公告)号：CN110567393B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201910729054.4
申请日：2019-08-08
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种大曲率半径自由曲面镜面面形干涉测量装置及方法。其中测量装置包括干涉仪、CGH、光学透镜，通过在CGH设置主检测区域、与光学透镜对准区域、与干涉仪对准区域、镜面基准区域及透镜基准区域五种衍射区域对装置中的光学器件之间的位置进行调整，从而保证了检测光路中各光学元件的精确对准；本发明通过利用光学透镜对检测光路长度进行缩短，同时结合计算全息元件对待测自由曲面反射镜进行零位补偿，解决了现有技术由于在检测大曲率半径光学元件时检测光路的光程较长而导致的对测量环境要求较高测量困难的问题，为现代先进光学系统的制造开发提供保证，具有检测精度高，检测场地环境及尺寸要求简单等优点。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.017 seconds)
