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公开(公告)号：CN106950484A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710148301.2
申请日：2017-03-14
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: G01R31/2648 , G01N25/20 , G01R31/2601
Abstract: 本发明属于半导体材料测试技术领域，具体涉及一种同时测量霍尔系数和塞贝克系数的装置及方法，该装置包括直行滑轨、磁铁组、测试探针和主加热器，直行滑轨两端分别放置有一个磁铁架，每个磁铁架上各设置有一对相同磁铁组，主加热器设置在直行滑轨的上方，待测样品放置在主加热器表面的两片陶瓷片副加热器上，主加热器上还设置有测试探针，电机驱动直行滑轨移动。本发明还公开了采用上述装置测量霍尔系数和塞贝克系数的方法。本发明有效的解决了塞贝克系数测量中对测量形状要求高的问题，能够测量不同大小形状的材料，也实现了在不同温度下的霍尔系数和塞贝克系数的测量，实现了自动化操作，测试精度高。
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公开(公告)号：CN105628732A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201510995132.7
申请日：2015-12-23
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种测量Seebeck系数的装置及其方法，其中该装置包括主/副加热器、第一绝缘导热体、第二绝缘导热体、第一主/副探针、第二主/副探针、第一主/副热电偶、第二主/副热电偶，其中，第一绝缘导热体和第二绝缘导热体均用于放置待测量样品；第一主/副探针和第二主/副探针用于测量待测量样品的电位；第一主/副热电偶和第二主/副热电偶用于测量待测量样品的温度。本发明中进行测量的样品其形貌可灵活多样，并且该装置可以测试在不同温度条件下的材料塞贝克系数，装置结构简单，由于是采用基于四个探针求得多组塞贝克系数求平均的测试方法，测量得到的塞贝克系数测量准确性高。
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公开(公告)号：CN105628732B
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201510995132.7
申请日：2015-12-23
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种测量Seebeck系数的装置及其方法，其中该装置包括主/副加热器、第一绝缘导热体、第二绝缘导热体、第一主/副探针、第二主/副探针、第一主/副热电偶、第二主/副热电偶，其中，第一绝缘导热体和第二绝缘导热体均用于放置待测量样品；第一主/副探针和第二主/副探针用于测量待测量样品的电位；第一主/副热电偶和第二主/副热电偶用于测量待测量样品的温度。本发明中进行测量的样品其形貌可灵活多样，并且该装置可以测试在不同温度条件下的材料塞贝克系数，装置结构简单，由于是采用基于四个探针求得多组塞贝克系数求平均的测试方法，测量得到的塞贝克系数测量准确性高。
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公开(公告)号：CN106950484B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201710148301.2
申请日：2017-03-14
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于半导体材料测试技术领域，具体涉及一种同时测量霍尔系数和塞贝克系数的装置及方法，该装置包括直行滑轨、磁铁组、测试探针和主加热器，直行滑轨两端分别放置有一个磁铁架，每个磁铁架上各设置有一对相同磁铁组，主加热器设置在直行滑轨的上方，待测样品放置在主加热器表面的两片陶瓷片副加热器上，主加热器上还设置有测试探针，电机驱动直行滑轨移动。本发明还公开了采用上述装置测量霍尔系数和塞贝克系数的方法。本发明有效的解决了塞贝克系数测量中对测量形状要求高的问题，能够测量不同大小形状的材料，也实现了在不同温度下的霍尔系数和塞贝克系数的测量，实现了自动化操作，测试精度高。
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