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公开(公告)号:CN112527031B
公开(公告)日:2021-12-31
申请号:CN202011320933.0
申请日:2020-11-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G05D23/32
Abstract: 本发明公开了一种片上热调系统及其控制方法,包括:电芯片、光芯片和开关管;光芯片包括位于待加热光器件一侧的热调器件,热调器件包括掺杂半导体制作的PN结或PIN结;开关管一端与所述电芯片相连,另一端与光芯片的热调器件相连;电芯片用于产生PWM波,并发送给所述开关管;开关管用于选通所述光芯片中的热调器件,并将PWM波发送到所述光芯片中被选通的热调器件上;光芯片中被选通的热调器件在PWM波作用下工作在正偏状态,以滤除PWM波中的高频成分,从而产生稳定的热功率,给所述待加热的光器件进行加热。由于热调器件的高频截止频率较低,PWM波的驱动频率相比于传统的PWM波驱动方案要低,故本发明中的电芯片的动态功耗较低,能量利用效率较高。
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公开(公告)号:CN112527031A
公开(公告)日:2021-03-19
申请号:CN202011320933.0
申请日:2020-11-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G05D23/32
Abstract: 本发明公开了一种片上热调系统及其控制方法,包括:电芯片、光芯片和开关管;光芯片包括位于待加热光器件一侧的热调器件,热调器件包括掺杂半导体制作的PN结或PIN结;开关管一端与所述电芯片相连,另一端与光芯片的热调器件相连;电芯片用于产生PWM波,并发送给所述开关管;开关管用于选通所述光芯片中的热调器件,并将PWM波发送到所述光芯片中被选通的热调器件上;光芯片中被选通的热调器件在PWM波作用下工作在正偏状态,以滤除PWM波中的高频成分,从而产生稳定的热功率,给所述待加热的光器件进行加热。由于热调器件的高频截止频率较低,PWM波的驱动频率相比于传统的PWM波驱动方案要低,故本发明中的电芯片的动态功耗较低,能量利用效率较高。
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公开(公告)号:CN111999917B
公开(公告)日:2022-03-25
申请号:CN202010830539.5
申请日:2020-08-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02F1/025
Abstract: 本发明公开了一种电光移相器掺杂结构、制备方法及电光调制器,属于半导体光电子器件领域,电光移相器掺杂结构包括脊形光波导,脊形光波导包括脊区以及位于脊区两侧的肋区,脊区包括N型掺杂脊区和P型掺杂脊区,N型掺杂脊区和P型掺杂脊区的分界面处形成两段纵向倾斜PN结以及连接该两段纵向倾斜PN结的横向倾斜PN结;其中,N型掺杂脊区和P型掺杂脊区的分界面与脊区的左右侧面不相交。本发明中的掺杂结构,增大移相器中光场与PN结的重叠面积,提高移相效率,具有更低的驱动电压,降低了移相器功耗,对移相器调制带宽影响非常小,与CMOS工艺兼容且具有较大的工艺容差,从而保证器件的良品率。
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公开(公告)号:CN111999917A
公开(公告)日:2020-11-27
申请号:CN202010830539.5
申请日:2020-08-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02F1/025
Abstract: 本发明公开了一种电光移相器掺杂结构、制备方法及电光调制器,属于半导体光电子器件领域,电光移相器掺杂结构包括脊形光波导,脊形光波导包括脊区以及位于脊区两侧的肋区,脊区包括N型掺杂脊区和P型掺杂脊区,N型掺杂脊区和P型掺杂脊区的分界面处形成两段纵向倾斜PN结以及连接该两段纵向倾斜PN结的横向倾斜PN结;其中,N型掺杂脊区和P型掺杂脊区的分界面与脊区的左右侧面不相交。本发明中的掺杂结构,增大移相器中光场与PN结的重叠面积,提高移相效率,具有更低的驱动电压,降低了移相器功耗,对移相器调制带宽影响非常小,与CMOS工艺兼容且具有较大的工艺容差,从而保证器件的良品率。
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