一种适用于半导体致密结构高耐压绝缘涂层的制备方法

    公开(公告)号:CN118007049A

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN202311848418.3

    申请日:2023-12-29

    IPC分类号: C23C4/02 C23C4/04 C23C4/134

    摘要: 本发明属于材料制备领域,具体涉及一种适用于半导体致密结构高耐压绝缘涂层的制备方法,包括以下步骤:半导体基体的预处理;以纳米级原料制备的陶瓷粉末,获取第一原料;将所述第一原料进行造粒,并对造粒后的第一原料进行等离子烧结,得到第二原料;对所述第二原料进行粒度级配,获取第三原料;在所述经过预处理的半导体基体上,利用所述第三原料通过等离子喷涂工艺制备适用于半导体致密结构高耐压绝缘涂层,本发明采用纳米级原料,能有效的提升涂层高温服役稳定性。通过对原材料造粒、烧结、粒度级配提高绝缘涂层的结合强度与寿命,且在特高压工况下能长时间工作,并通过等离子喷涂工艺提高涂层的使用温度及韧性。

    一种高纯铼酸铵的制备方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114349058A

    公开(公告)日:2022-04-15

    申请号:CN202210130478.0

    申请日:2022-02-11

    IPC分类号: C01G47/00 B01J39/00

    摘要: 本申请涉及铼酸铵制备的技术领域,具体公开了一种高纯铼酸铵的制备方法。制备方法包括以下步骤:S1、对含有铼酸铵的铼酸铵水溶液进行两级离子交换处理:使得所述铼酸铵水溶液依次经过强酸性阳离子交换树脂和弱酸性阳离子交换树脂,以得到含有铼酸的铼酸水溶液;其中,所述铼酸铵水溶液是将铼酸铵粗品溶解在水中获得,所述铼酸铵粗品的纯度不小于99wt%;S2、将所述铼酸水溶液经蒸发浓缩后,加入氨水和/或氨气以使铼酸生成铼酸铵,然后将产物经结晶、干燥后得到高纯铼酸铵。本申请的制备方法具有制备得到高纯度、高收率、金属含量低的铼酸铵的优点。

    一种超细高纯铼粉的制备方法

    公开(公告)号:CN111097916A

    公开(公告)日:2020-05-05

    申请号:CN202010024238.3

    申请日:2020-01-09

    IPC分类号: B22F9/04 B22F1/00

    摘要: 本申请涉及一种超细高纯铼粉的制备方法,属于铼粉技术领域。一种超细高纯铼粉的制备方法,包括:在磨球的外表面、球磨罐的内腔表面存在铼金属层的条件下,以第一球磨转速对铼粉进行预磨,磨至铼粉的粒度达到25μm≤D90≤40μm,再以低于第一球磨转速的第二球磨转速对铼粉进行球磨。该球磨方法能够对铼粉进行充分的研磨,使得铼粉的粒径分布均匀,粒径在14μm以下。磨球和球磨罐的表面镀有铼金属层,降低球磨器材在球磨铼粉过程中引入杂质的概率。该制备方法球磨效率高,球磨工艺时间短,较大程度上避免引入杂质。

    一种6N级铼粉的制备方法
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN118492384B

    公开(公告)日:2024-10-15

    申请号:CN202410955750.8

    申请日:2024-07-17

    IPC分类号: B22F9/22 C01G47/00

    摘要: 本申请提供一种6N级铼粉的制备方法,涉及铼粉制备领域。该方法包括:将铼酸铵、高纯水和活性炭混合,过滤得到第一铼酸铵溶液;第一铼酸铵溶液和γ‑MnO2混合后加入絮凝剂,第二搅拌、静置,再进行过滤,过滤后用阳离子树脂处理,再进行加热蒸发,加入电子级氨水混合调节pH,进行冷冻结晶,干燥得到铼酸铵结晶体;在氢气气氛下,铼酸铵结晶体进行还原焙烧。本申请提供的6N级铼粉的制备方法,通过活性炭吸附、γ‑MnO2氧化吸附、两级过滤分离和离子交换脱除等多次杂质脱除处理,获得了纯度极高的6N铼酸铵,该方法易于实现流程化的工业制备,避免采用铼酸铵多次重结晶的提纯方法,具有节能、操作简单等特点。

    一种6N级铼粉的制备方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118492384A

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202410955750.8

    申请日:2024-07-17

    IPC分类号: B22F9/22 C01G47/00

    摘要: 本申请提供一种6N级铼粉的制备方法,涉及铼粉制备领域。该方法包括:将铼酸铵、高纯水和活性炭混合,过滤得到第一铼酸铵溶液;第一铼酸铵溶液和γ‑MnO2混合后加入絮凝剂,第二搅拌、静置,再进行过滤,过滤后用阳离子树脂处理,再进行加热蒸发,加入电子级氨水混合调节pH,进行冷冻结晶,干燥得到铼酸铵结晶体;在氢气气氛下,铼酸铵结晶体进行还原焙烧。本申请提供的6N级铼粉的制备方法,通过活性炭吸附、γ‑MnO2氧化吸附、两级过滤分离和离子交换脱除等多次杂质脱除处理,获得了纯度极高的6N铼酸铵,该方法易于实现流程化的工业制备,避免采用铼酸铵多次重结晶的提纯方法,具有节能、操作简单等特点。