-
公开(公告)号：CN102285634A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110207574.2
申请日：2011-07-23
Applicant: 北京科技大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于ZnO微/纳材料的柔性应变传感器的构建方法，涉及纳米技术和半导体器件制造技术领域。本发明提供的应变传感器包括：ZnO单晶微/纳米材料、银电极、封装层聚二甲基硅氧（PDMS）和柔性衬底（PDMS、聚酰亚胺PI薄膜）。其中，长度为2-8mm、直径为0.5-5μm的ZnO单晶微/纳米材料由气相法制得，并采用接触印刷法转移至柔性基底上。封装后的器件可在酸/碱等腐蚀性环境下使用，并对不同粗糙度的工作表面有较高契合度，对小应变有很高的信号响应，可用于桥梁检测、汽车减震检测和生物医疗器械等方面。
Search Results
1
records
(took 0.014 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
