Patent search ap:("北京科技大学") AND inv:"李玉杰" Page 1

1.

实用新型
一种金属有机气相化学沉积装置失效

公开(公告)号：CN202297763U

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201120374860.3

申请日：2011-09-28

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 葛昌纯 , 张小锋 , 郭双全 , 李玉杰 , 袁若

IPC: C23C16/18

Abstract: 本实用新型涉及一种金属有机化学气相沉积装置。一种金属有机化学气相沉积装置，所述装置包括钟罩（6）、底座（9）、进气口（1）、电加热（12）及温控系统、水冷系统部分，其特征在于：所述装置对进气管（1）保温，安装有气体喷淋头（14）以及独立的温控系统对气体的温度进行实时精确控制。本装置适用于制备各种薄膜，具有以下特点：（1）通过调整混合气体的摩尔比例可以调节薄膜的成份比例；（2）成膜面积大，沉积温度低；（3）薄膜的厚度可调节且厚度均匀；（4）通过气源切换，可沉积复合薄膜或梯度膜；（5）沉积的薄膜纯度高；（6）成本低、效率高，适合工业生产。

Patent Agency Ranking