公开(公告)号：CN105702776A

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201610075220.X

申请日：2016-02-03

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 齐俊杰 ,  张跃 ,  徐玉亮 ,  李峰

IPC: H01L31/113 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/1136 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种自驱动光探测器及其制作方法，涉及光探测技术领域，能够实现自驱动光电探测，且响应时间短、响应度高、能够对具有一定波长范围的光线进行探测。该自驱动光探测器包括基底，位于所述基底上的沟道层，位于所述沟道层上的栅介质层，位于所述栅介质层上的栅极，以及与所述沟道层的两端连接的银电极和铂电极，所述沟道层的材料为二维二硫化钼，所述沟道层包括1~5个原子层。本发明用于进行光探测。

公开(公告)号：CN105702776B

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201610075220.X

申请日：2016-02-03

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 齐俊杰 ,  张跃 ,  徐玉亮 ,  李峰

IPC: H01L31/113 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种自驱动光探测器及其制作方法，涉及光探测技术领域，能够实现自驱动光电探测，且响应时间短、响应度高、能够对具有一定波长范围的光线进行探测。该自驱动光探测器包括基底，位于所述基底上的沟道层，位于所述沟道层上的栅介质层，位于所述栅介质层上的栅极，以及与所述沟道层的两端连接的银电极和铂电极，所述沟道层的材料为二维二硫化钼，所述沟道层包括1~5个原子层。本发明用于进行光探测。

公开(公告)号：CN106152930A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201610475099.X

申请日：2016-06-24

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 张跃 ,  顾有松 ,  陈峰岭 ,  徐玉亮 ,  冯世安

IPC: G01B7/16 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

CPC classification number: G01B7/18 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明属于传感器领域，具体涉及一种高灵敏柔性可穿戴应变传感器及其低成本制作方法。所述传感器包括柔性基底、位于柔性基底上的敏感层和位于敏感层两端的电极，敏感层为石墨纳米颗粒膜，敏感层使用热蒸发沉积方式制备。本发明的传感器的敏感层和电极之间为欧姆接触。敏感层是纳米级别的连续石墨颗粒膜，当传感器受到外界的应变的时候，纳米颗粒之间接触发生迅速响应，改变导电路径和接触面积，从而自身电阻发生明显变化，将输入的应变转变为电信号输出，能够实现高灵敏的应变探测，且响应时间短、响应度高、能够对一定范围的应变进行探测。且本发明传感器制备方法简单，成本低。