公开(公告)号：CN119351993A

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN202411463808.3

申请日：2024-10-18

Applicant: 北京石墨烯研究院 ,  苏州大学 ,  北京大学 ,  北京石墨烯研究院有限公司

Inventor： 孙靖宇 ,  贾丽 ,  刘忠范 ,  魏文泽 ,  张钦迟 ,  蔡阿利

IPC: C23C16/46 ,  C23C16/44 ,  C23C16/26

Abstract: 本公开涉及化学气相沉积制备技术领域，尤其是涉及一种加热装置、CVD设备及方法。加热装置包括线圈组件、石墨盘和导热垫片，线圈组件包括线圈和供电装置，线圈用于设置在CVD设备的腔室的周向外表面，供电装置用于向线圈供电，以使腔室内产生磁场；石墨盘用于安装于腔室内，石墨盘能够产生热量；导热垫片位于石墨盘上，与石墨盘同轴设置，导热垫片的直径小于石墨盘的直径；导热垫片用于承托晶圆，晶圆的直径大于导热垫片的直径，晶圆包括第一区域和第二区域，第一区域能够与导热垫片直接接触，第二区域与石墨盘之间间隙设置。通过热传导和热辐射相结合的加热方式，提高了晶圆温度分布的均匀性，有利于提高二维材料薄膜的均匀性和质量。

公开(公告)号：CN221595124U

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202323241107.9

申请日：2023-11-29

Applicant: 北京石墨烯研究院

Inventor： 常佳宇 ,  孙建波 ,  张钦迟 ,  刘忠范

IPC: G01R27/02

Abstract: 本公开提供了一种电导率测量装置，涉及电导率测量领域。本公开通过测量仪器向4个测量端中的2个相邻的测量端输入电流，并测量另外2个测量端之间的电压；通过开关模块切换向不同的2个相邻测量端输入电流，并测量另外2个测量端的电压，从而在测量端位置不变且无需插拔测量仪器的测试线的情况下，实现电导率的测量。本公开既可以简化测量操作，又可以提高测量仪器的使用寿命，同时还可以提高测量的精度。