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发明公开
压电驱动结构、压电微镜和压电微镜制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN114583043A

公开(公告)日：2022-06-03

申请号：CN202210150504.6

申请日：2022-02-18

申请人： 北京理工大学重庆微电子研究院

发明人： 焦文龙 , 严阳阳 , 杨芋 , 彭文 , 谢会开

IPC分类号： H01L41/083 , H01L41/312 , G02B26/08

摘要： 本发明公开了压电驱动结构、压电微镜和压电微镜制备方法，所述压电驱动结构包括压电层、压电层上方连续的上电极和压电层下方连续的下电极，所述上电极上方一端设置有上介质层，所述下电极下方设置有下介质层，所述上介质层和所述下介质层长度小于所述压电层，在所述压电层所处的水平面上所述上介质层和所述下介质层在水平方向不完全重合。本发明针对无侧向位移和转角的压电Bimorph驱动结构存在的驱动电路复杂，引线繁琐、驱动效率低等问题，提出新的简化结构和制备方案，该方案中Bimorph驱动结构无需设置专门的引线。