公开(公告)号：CN113403587B

公开(公告)日：2022-06-21

申请号：CN202110685863.7

申请日：2021-06-21

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 许自强 ,  王业亮 ,  杨涵 ,  贾亮广 ,  武旭 ,  侯延辉 ,  刘立巍

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明提出了一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法，通过填充沙能够使得热量传递更快，温度控制更精确迅速，并且结构设计为可移动，利于在不同真空腔的使用兼容性及普遍性。本申请的可移动温控沙浴束源炉通过填充沙实现采用沙浴加热方式加热，使热量传递方式从单一的热辐射传递变为热传导和热辐射两种热传递方式，使热量传递更快，温度控制更精确迅速；同时，本申请的可移动温控沙浴束源炉结构简单，可移动的特点利于调节束源炉在真空蒸镀腔里的位置以及相对于样品的位置，也利于束源炉对不同构造的真空蒸镀腔的广泛兼容性。

公开(公告)号：CN113403587A

公开(公告)日：2021-09-17

申请号：CN202110685863.7

申请日：2021-06-21

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 许自强 ,  王业亮 ,  杨涵 ,  贾亮广 ,  武旭 ,  侯延辉 ,  刘立巍

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明提出了一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法，通过填充沙能够使得热量传递更快，温度控制更精确迅速，并且结构设计为可移动，利于在不同真空腔的使用兼容性及普遍性。本申请的可移动温控沙浴束源炉通过填充沙实现采用沙浴加热方式加热，使热量传递方式从单一的热辐射传递变为热传导和热辐射两种热传递方式，使热量传递更快，温度控制更精确迅速；同时，本申请的可移动温控沙浴束源炉结构简单，可移动的特点利于调节束源炉在真空蒸镀腔里的位置以及相对于样品的位置，也利于束源炉对不同构造的真空蒸镀腔的广泛兼容性。