公开(公告)号：CN113140641B

公开(公告)日：2022-08-23

申请号：CN202110405178.4

申请日：2021-04-15

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 许自强 ,  刘立巍 ,  王业亮 ,  侯延辉 ,  黄泽平 ,  杨涵 ,  张全震 ,  张腾

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0203 ,  C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/08 ,  C23C14/28 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明提供了一种柔性二维材料光探测器阵列及其制作方法，能够在室温和大气环境下能稳定工作。本发明的柔性二维材料光探测器阵列，其中的二维材料NbSe2通常存在三棱柱结构(2H相)或八面体结构(1T相)，2H相为半金属，1T相为莫特绝缘体，生长的大面积或体材料通常是2H相，2H相的半金属薄膜因其光电导特性适合作为光电器件的光敏层材料，且相比于体材料具有较低的暗电流，对波长为532nm到808nm光谱范围内的光照具有响应。

公开(公告)号：CN113403587B

公开(公告)日：2022-06-21

申请号：CN202110685863.7

申请日：2021-06-21

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 许自强 ,  王业亮 ,  杨涵 ,  贾亮广 ,  武旭 ,  侯延辉 ,  刘立巍

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明提出了一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法，通过填充沙能够使得热量传递更快，温度控制更精确迅速，并且结构设计为可移动，利于在不同真空腔的使用兼容性及普遍性。本申请的可移动温控沙浴束源炉通过填充沙实现采用沙浴加热方式加热，使热量传递方式从单一的热辐射传递变为热传导和热辐射两种热传递方式，使热量传递更快，温度控制更精确迅速；同时，本申请的可移动温控沙浴束源炉结构简单，可移动的特点利于调节束源炉在真空蒸镀腔里的位置以及相对于样品的位置，也利于束源炉对不同构造的真空蒸镀腔的广泛兼容性。

公开(公告)号：CN113403587A

公开(公告)日：2021-09-17

申请号：CN202110685863.7

申请日：2021-06-21

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 许自强 ,  王业亮 ,  杨涵 ,  贾亮广 ,  武旭 ,  侯延辉 ,  刘立巍

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明提出了一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法，通过填充沙能够使得热量传递更快，温度控制更精确迅速，并且结构设计为可移动，利于在不同真空腔的使用兼容性及普遍性。本申请的可移动温控沙浴束源炉通过填充沙实现采用沙浴加热方式加热，使热量传递方式从单一的热辐射传递变为热传导和热辐射两种热传递方式，使热量传递更快，温度控制更精确迅速；同时，本申请的可移动温控沙浴束源炉结构简单，可移动的特点利于调节束源炉在真空蒸镀腔里的位置以及相对于样品的位置，也利于束源炉对不同构造的真空蒸镀腔的广泛兼容性。

公开(公告)号：CN218122020U

公开(公告)日：2022-12-23

申请号：CN202222110135.6

申请日：2022-08-11

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 胡亘宇 ,  许自强 ,  杨惠霞 ,  侯延辉 ,  武旭 ,  王业亮

IPC: G01Q60/10

Abstract: 本实用新型提供了一种实现多仪器间样品架转换的装置，其包括磁力储样杆、X向样品架、可转移子样品架、磁力传样杆和Z向样品架；磁力储样杆通过法兰与超高真空腔体密封连接，并可沿法兰方向移动及沿中心轴转动；X向样品架和Z向样品架安装于磁力储样杆上；可转移子样品架与X向样品架和Z向样品架可拆卸式装配连接；磁力传样杆安装于可转移子样品架一端，并与磁力储样杆在同一平面内始终保持垂直；磁力传样杆通过平移台及法兰与超高真空腔体密封连接；磁力储样杆可沿着Y方向移动及沿其轴心线旋转。本实用新型可在不对超高真空腔体进行过多改造，并不影响正常实验流程的前提下，完成样品从X向样品架和Z向样品架之间样品的双向转移过程。