公开(公告)号：CN116908118A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202310632236.6

申请日：2023-05-30

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 郝群 ,  李泰澎

IPC: G01N21/27 ,  G01J3/42

Abstract: 本公开涉及一种基于硫化铅薄膜的微型光谱仪及其制备方法，该微型光谱仪包括：发射模块、固定模块以及响应模块，响应模块包括硫化铅薄膜；发射模块和响应模块沿光传输的方向顺次设置，且固定模块将发射模块和响应模块连接固定；发射模块用于发射光并对经过待测样品的光进行波长选择；响应模块用于基于硫化铅薄膜接收不同波长的光产生电阻变化，以形成对应的电流响应。由此，基于响应模块中硫化铅薄膜具有高分辨率和高灵敏度的光敏性能，进而利用包括硫化铅薄膜的响应模块形成对应于光谱强度的响应电流，实现高分辨率和高灵敏度的微型光谱仪。

公开(公告)号：CN115188778A

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN202210753518.7

申请日：2022-06-28

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 郝群 ,  唐鑫 ,  陈梦璐 ,  李泰澎

IPC: H01L27/146

Abstract: 本发明涉及一种非倒装键合体式硫系铅焦平面阵列器及其制备方法与应用，属于光电传感器制备工艺技术领域。本发明设计的制备方法解决了倒装键合工艺复杂，成品率低，成本高的问题，采用硫系铅薄膜具备的大面积均匀性和易与硅衬底集成的特性，直接在硅衬底上沉积生长制备焦平面阵列，同时在化学水浴沉积过程中，采用竖直布置衬底的方式，可一次性生成多个基片，有利于保证产品质量稳定性。故本发明设计的阵列器件质量稳定，探测率、响应率也表现良好。