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公开(公告)号：CN103934576A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201410151218.7
申请日：2014-04-15
Applicant: 北京理工大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/0622 , B23K26/142
CPC classification number: B23K26/361 , B23K26/0622 , B23K26/0643 , B23K26/0652 , B23K26/142
Abstract: 本发明涉及激光应用领域，尤其涉及一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法。本发明的方法，采用飞秒激光器产生近红外飞秒激光单脉冲，利用飞秒激光光学参量放大器将近红外飞秒激光单脉冲的波长调节在290-2600nm的范围内，然后利用迈克尔逊干涉仪结构的光路把激光单脉冲调制为偏振方向垂直的激光双脉冲，再利用连续衰减片调整激光双脉冲总能量不低于被加工样品的烧蚀阈值；之后调整光路使变波长垂直偏振双脉冲通过平凸透镜后沿垂直方向聚焦，移动待加工样品使激光焦点位于样品的上表面；最后控制待加工样品以设定的速度水平运动，即可在样品表面扫描出二维周期性结构。本发明能够在材料表面诱导出各种亚波长尺寸的均匀的二维周期性结构。
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公开(公告)号：CN104384722A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201410589883.4
申请日：2014-10-28
Applicant: 北京理工大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/402 , B23K26/066
CPC classification number: B23K2101/40
Abstract: 本发明涉及一种基于N型掺杂的飞秒激光加工半导体的方法，属于激光应用领域。所述方法包括：1)确定待加工半导体材料的加工区域，使用掩模覆盖住待加工区域的剩余部分；2)对待加工区域进行N型掺杂；N型掺杂的杂质为五价元素，N型掺杂的浓度要大于1018cm-3；3)去除掩模，采用飞秒激光加工方法于待加工半导体材料的掺杂区域进行加工。本发明通过在半导体中选择性N型掺杂五价元素，局部提升了材料的自由电子密度，与传统的激光加工方法相比，能够实现对材料的高效率及选择性加工。
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公开(公告)号：CN104475982A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201410586823.7
申请日：2014-10-28
Applicant: 北京理工大学
IPC: B23K26/382 , B23K26/60 , C03C1/04 , C03C4/02 , C03B33/09
CPC classification number: C03C21/001 , C03C15/00
Abstract: 本发明涉及一种基于离子着色的飞秒激光加工玻璃的方法，属于激光应用领域。所述方法包括：1)将过渡金属离子或稀土离子掺入待加工玻璃中，离子掺杂的浓度达到使待加工玻璃的吸收光谱发生改变并形成吸收峰，得到颜色玻璃；2)测量第1)步得到的颜色玻璃的吸收光谱，将该吸收光谱中吸收峰的波长作为共振吸收波长；3)采用飞秒激光工艺对所述颜色玻璃的表面或内部进行加工，其中采用的飞秒激光的波长等于共振吸收波长。本发明的方法与传统的飞秒激光加工方法相比，能够实现对材料的高效率和波长选择性加工。
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公开(公告)号：CN103878496A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201410151016.2
申请日：2014-04-15
Applicant: 北京理工大学
IPC: B23K26/382 , B23K26/0622
CPC classification number: B23K26/382 , B23K26/0622 , B23K2103/42 , B23K2103/50
Abstract: 本发明涉及激光应用领域，尤其涉及一种飞秒激光高效率加工大深径比高质量微孔的方法。本发明的加工方法，将近红外飞秒激光单脉冲利用飞秒激光光学参量放大器将近红外飞秒激光单脉冲的波长调节为可见光，然后利用迈克尔逊干涉仪结构的光路将其调制为激光双脉冲，再利用连续衰减片调整激光双脉冲的总能量；再将所得到的可见光双脉冲穿过光学快门，并通过物镜后垂直聚焦于待加工样品的上表面；最后利用光学快门控制可见光双脉冲的曝光时间，进而调整照射到待加工样品表面的激光脉冲个数，直至加工微孔的深度达到饱和。本发明的加工方法能够有效提高微孔加工的深径比和质量。
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