公开(公告)号：CN114536219A

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202210206133.9

申请日：2022-02-28

Applicant: 北京烁科精微电子装备有限公司

Inventor： 于静 ,  张敏杰 ,  王嘉琪 ,  李伟 ,  尹影

IPC: B24B53/017

Abstract: 本发明提供的一种用于抛光头的清洗装置，包括：清洗基座具有轴向贯通的第一流道；第一清洗臂成型于清洗基座上，第一清洗臂具有轴向贯通的第二流道，第二流道与第一流道垂直且连通；第一清洗臂的两轴端处均成型有第二清洗臂，第二清洗臂具有轴向设置的第三流道；第三流道的一端与第二流道连通，第三流道的另一端封堵；第三流道与第二流道的夹角不小于90°，第三流道朝向背离清洗基座的方向向上延伸；第一清洗臂的背离清洗基座的一侧上设有第一喷洗头，第二清洗臂的背离清洗基座的一侧上设有第二喷洗头。本发明的清洗基座、第一清洗臂以及第二清洗臂为一体式设计，各部件之间不存在螺钉连接或者粘接，且相互衔接处不存在缝隙。

公开(公告)号：CN115256218A

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN202210701556.8

申请日：2022-06-20

Applicant: 北京烁科精微电子装备有限公司

Inventor： 李伟 ,  张敏杰 ,  尹影

IPC: B24B37/34 ,  B24B37/27 ,  B24B37/00

Abstract: 本发明提供的一种用于抛光头的气控装置及其抛光设备，属于抛光技术领域，气控装置包括：箱体；气控模块，具有集成在箱体腔室内的多个，气控模块上具有氮气接头以及多组进/出气接头，气控模块用于控制气体的压力参数；转接板，连接在箱体上，转接板上具有用于与氮气接头以及进/出气接头连通的转接头。本发明将分散的气控模块汇聚至一个箱体内，电气系统走线经转接板进行排布后、集中至箱体内，在转接板上可以清晰区分各走线去向，避免走线混乱以影响后续的维护，且便于单人独立完成调试读取数据；当该气控装置置于抛光头上方时，较分散的气控模块而言，能够节省抛光头上部的空间，有助于压缩整体设备的体积、使设备结构更加紧凑。