公开(公告)号：CN108303857B

公开(公告)日：2020-08-14

申请号：CN201810073945.4

申请日：2018-01-25

Applicant: 北京控制工程研究所

Inventor： 左建斌 ,  武宏宇 ,  吕志强 ,  赵晓雨 ,  朱春英 ,  佟慧 ,  赵娜 ,  石建民 ,  范汉超 ,  杨思达

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

Abstract: 一种提高双面光刻一致性的方法、系统和存储介质，研制非标的双面曝光机，采用了水平位置调整装置调整和固定工件的位置，减少曝光过程中的移动，引入了接触力的概念，采用接触力可调整的装置，解决了曝光过程中接触力较小的问题，并可使曝光时的接触力可调。本发明降低了双面曝光机使用时工艺重复性误差，改变了单面曝光机单面对准、单面曝光、中途翻转的方式，解决了小尺寸圆柱形光学零件双面光刻一致性较差的问题，使工件上下两面图形的同轴度≤0.03mm，峰峰值不对称度符合产品技术要求。使双面曝光的一致性误差由原来的不小于0.005mm降低到0.003mm以内。可有效提高双面光刻一致性。

公开(公告)号：CN112034579B

公开(公告)日：2022-05-24

申请号：CN202010790094.2

申请日：2020-08-07

Applicant: 北京控制工程研究所

Inventor： 王婧烨 ,  吕志强 ,  赵晓雨 ,  刘旭力 ,  汪艳 ,  戈强 ,  杨宇 ,  孟宪刚 ,  杨立洲 ,  高修涛 ,  邵逸恺 ,  田广 ,  武宏宇 ,  赵娜 ,  石建民 ,  范汉超

IPC: G02B7/00

Abstract: 本发明涉及一种基于非共面标记线的柱面镜与码盘玻璃粘接装置和方法，属于光电探测器技术领域。该装置以底座上表面为测量系统坐标系的XOY平面，垂直于XOY平面的坐标轴为测量坐标系的Z轴，二维移动平台位于底座上表面能够沿测量系统坐标系的X轴方向和Y方向移动；码盘柱面镜粘接模具位于二维移动平台上，用于叠放码盘和柱面镜，能够沿测量系统坐标系的X轴方向和Y方向，调整码盘或者柱面镜相对于二维移动平台的位置；立柱垂直安装在底座上，显微镜光学系统和CCD相机安装在立柱上，显微光学系统用于对叠放的码盘和柱面镜成像，CCD相机的镜头对准显微光学系统的目镜，用于对显微光学系统所成的图像进行光电转换，并上传至计算机。

公开(公告)号：CN112034579A

公开(公告)日：2020-12-04

申请号：CN202010790094.2

申请日：2020-08-07

Applicant: 北京控制工程研究所

Inventor： 王婧烨 ,  吕志强 ,  赵晓雨 ,  刘旭力 ,  汪艳 ,  戈强 ,  杨宇 ,  孟宪刚 ,  杨立洲 ,  高修涛 ,  邵逸恺 ,  田广 ,  武宏宇 ,  赵娜 ,  石建民 ,  范汉超

IPC: G02B7/00

Abstract: 本发明涉及一种基于非共面标记线的柱面镜与码盘玻璃粘接装置和方法，属于光电探测器技术领域。该装置以底座上表面为测量系统坐标系的XOY平面，垂直于XOY平面的坐标轴为测量坐标系的Z轴，二维移动平台位于底座上表面能够沿测量系统坐标系的X轴方向和Y方向移动；码盘柱面镜粘接模具位于二维移动平台上，用于叠放码盘和柱面镜，能够沿测量系统坐标系的X轴方向和Y方向，调整码盘或者柱面镜相对于二维移动平台的位置；立柱垂直安装在底座上，显微镜光学系统和CCD相机安装在立柱上，显微光学系统用于对叠放的码盘和柱面镜成像，CCD相机的镜头对准显微光学系统的目镜，用于对显微光学系统所成的图像进行光电转换，并上传至计算机。

公开(公告)号：CN108303857A

公开(公告)日：2018-07-20

申请号：CN201810073945.4

申请日：2018-01-25

Applicant: 北京控制工程研究所

Inventor： 左建斌 ,  武宏宇 ,  吕志强 ,  赵晓雨 ,  朱春英 ,  佟慧 ,  赵娜 ,  石建民 ,  范汉超 ,  杨思达

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

Abstract: 一种提高双面光刻一致性的方法、系统和存储介质，研制非标的双面曝光机，采用了水平位置调整装置调整和固定工件的位置，减少曝光过程中的移动，引入了接触力的概念，采用接触力可调整的装置，解决了曝光过程中接触力较小的问题，并可使曝光时的接触力可调。本发明降低了双面曝光机使用时工艺重复性误差，改变了单面曝光机单面对准、单面曝光、中途翻转的方式，解决了小尺寸圆柱形光学零件双面光刻一致性较差的问题，使工件上下两面图形的同轴度≤0.03mm，峰峰值不对称度符合产品技术要求。使双面曝光的一致性误差由原来的不小于0.005mm降低到0.003mm以内。可有效提高双面光刻一致性。

公开(公告)号：CN103265181A

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN201310173072.1

申请日：2013-05-10

Applicant: 北京控制工程研究所

Inventor： 刘江 ,  秦素然 ,  高修涛 ,  石建民 ,  范汉超 ,  王婧烨 ,  赵娜

IPC: C03C17/09

Abstract: 本发明涉及一种制备低反射率金属薄膜的方法，特别涉及一种在光学玻璃表面制备低反射率薄膜的方法，适用于航天器用光学零件如码盘、光栅等所采用的低反射率薄膜的制备，属于薄膜制备技术领域。本发明的方法制备的金属薄膜的反射率低≤10%，能够作为制备码盘、柱面镜、光学入射缝板等光学零件的低反射率薄膜；在制备过程中使用了反应气体，使膜层含气，不易氧化，容易刻蚀。

公开(公告)号：CN118957529A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202410998614.7

申请日：2024-07-24

Applicant: 北京控制工程研究所

Inventor： 武宏宇 ,  杨宇 ,  李连升 ,  梅志武 ,  申坤 ,  黎月明 ,  左富昌 ,  赵晓雨 ,  郭凯 ,  刘亚楠 ,  陈冲 ,  陈琪 ,  高修涛 ,  范汉超 ,  朱春英 ,  左建斌 ,  芦冬梅 ,  张岩

IPC: C23C14/50

Abstract: 一种X射线多层嵌套金属反射镜芯轴镀膜装置，将原本镀膜机的镀膜工件平面公转的转动方式转换为平面公转加绕芯轴自转的方式，有效提升了镀膜膜层厚度均匀性；在机构方面采用联轴器、扭力限制器以及螺旋伞形锥齿轮等结构，解决了系统转动惯量过大带来的过载问题，使装置长期运行顺畅、平稳、可靠；通过特殊无油、耐高温、自润滑轴承的选用，克服了普通轴承真空高温工况下转动可靠性问题；在装卡方面，设计了长度可调、直径可变的装卡机构，以适应多种规格的芯轴镀膜，达到简化装置结构的目的，有效减少了工装种类、降低了使用成本。

公开(公告)号：CN102096136A

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN201010611624.9

申请日：2010-12-17

Applicant: 北京控制工程研究所

Inventor： 刘江 ,  秦素然 ,  高修涛 ,  王周好 ,  王俊杰 ,  石建民 ,  范汉超

IPC: G02B5/22 ,  G02B1/10 ,  B32B9/04 ,  B32B17/00

Abstract: 空间用光学石英玻璃耐辐照滤紫外薄膜及制备方法，包括石英玻璃基片和多层膜，多层膜通过真空热蒸发镀膜法和磁控溅射镀膜法镀在石英玻璃基片上，所述的多层膜为L1层/H层/L2层结构，L1层为SiO2层或SiO层，L2层为SiO2层或SiO层，H层为CeO2层或ZnO层。本发明采用石英玻璃基片和多层膜复合结构，提高了材料的耐辐照性能，辐照试验结果表明：采用普通石英加薄膜的材料的耐辐照性能远远优于掺杂石英，经过5×108Rad(Si)累计剂量的辐照后在工作波段(400～1000nm)光谱透过率平均值T≥90％，掺杂材料为T≥70％。