一种热式微流量测量传感器流道及密封结构

    公开(公告)号:CN109579928B

    公开(公告)日:2020-10-23

    申请号:CN201811409416.3

    申请日:2018-11-23

    IPC分类号: G01F1/684 G01F15/00 F16J15/02

    摘要: 本发明公开了一种热式微流量测量传感器流道及密封结构,包括底板、元件基座、连接板和检测元件;底板和连接板均为矩形板,底板上分别设有用于气体流通的凹槽和用于安装元件基座的圆孔,圆孔轴线穿过凹槽,元件基座为圆台,元件基座同轴焊接在圆孔中,元件基座上安装有用于检测气体流动状态的检测元件,连接板与底板固定连接,连接板上分别设有用于配合凹槽的凸缘和用于气体流通的通孔,通孔轴线穿过凸缘。本发明通过底板凹槽与连接板凸缘的配合,避免了气体紊流,弥补了MEMS热式流量传感器检测稳定性较差的缺陷;通过设置填充件并将底板与连接板焊接,确保了检测元件和气体流道的可靠密封,解决了MEMS热式流量传感器结构及其流道密封性较低的问题。

    一种基于MEMS技术的热式流量传感器

    公开(公告)号:CN104482971B

    公开(公告)日:2019-05-24

    申请号:CN201410742115.8

    申请日:2014-12-05

    IPC分类号: G01F1/684 B81B7/00

    摘要: 本发明提供了一种基于MEMS技术的热式流量传感器,其通过发热元件向被测流体散热,并通过测温元件对流体热量进行检测来测量流量。该热式流量传感器包括发热元件、位于发热元件上游侧且离发热元件不同距离的两组测温元件、对称布置在发热元件下游侧的两组测温元件、以及相应的加热控制电路和信号检测电路。本发明的热式流量传感器同时具有高灵敏度和宽量程的特点,与传统的热式流量传感器相比能实现更高的灵敏度和更宽的量程,并且利用微电子机械加工技术制作,具有压力损失小、热响应速度快、尺寸小、重量轻、可靠性高等优点。

    一种基于MEMS的压力传感器

    公开(公告)号:CN104132767A

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201410360832.4

    申请日:2014-07-25

    IPC分类号: G01L9/04

    摘要: 本发明提供一种基于MEMS的压力传感器,包括基座、下盖、支架、压力敏感芯体、绝缘垫、信号处理电路板、外壳、电连接器、以及引线板。压力敏感芯体采用溅射薄膜应变式原理,其作用是感应被测介质的压力,输出与压力信号变化成比例的电信号;信号处理电路是一种高度集成的传感器信号处理电路,用于给压力敏感芯体供电,同时对压力敏感芯体输出的信号进行放大、校准和温度补偿功能,实现高精度的信号调理;基座和外壳提供与管路的接口,并将压力敏感芯体与信号处理线路板进行封装。本发明的压力传感器为一体化结构,可靠性高,尺寸小,重量轻,适合于微小超高压冷气推进系统高压气瓶压力的精确测量。

    一种用于卫星管路焊接的压力传感器压力组件

    公开(公告)号:CN104062058A

    公开(公告)日:2014-09-24

    申请号:CN201410256965.7

    申请日:2014-06-10

    IPC分类号: G01L9/06

    摘要: 本发明涉及一种用于卫星管路焊接的压力传感器压力组件,属于航天器流体压力测量技术领域,适用于航天器压力传感器与系统管路的焊接密封。该压力组件包括直管压力接头、支架和压力敏感元件。本发明的压力组件解决了压力传感器不能与卫星管路进行密封焊接的问题;该结构不仅可保证产品的结构强度可靠性及0.05%的高测量精度,又提高了卫星推进分系统的密封可靠性;整机性能达到了国际先进水平。成功保证了压力组件与卫星管路的焊接;提高了系统密封可靠性,降低了泄漏的风险。