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公开(公告)号:CN116642528A
公开(公告)日:2023-08-25
申请号:CN202310410375.4
申请日:2023-04-17
申请人: 北京控制工程研究所
发明人: 龙军 , 付新菊 , 李永 , 刘旭辉 , 姚兆普 , 汪旭东 , 高晨光 , 关威 , 刘清源 , 石召新 , 张恒 , 吕泰增 , 朱智博 , 韩道满 , 严浩 , 耿金越 , 高永 , 魏延明
IPC分类号: G01D21/02
摘要: 本发明公开了一种毛细管内气体温度及质量流量测量方法,属于热式气体流量测量领域。该方法采用两个缠绕在毛细管外的两组加热丝的方式进行气体流量测量,毛细管上游、下游外壁上各缠绕一组加热丝,加热丝通电流后温度会升高,通过控制加热丝功率保持两组加热丝温度相同,当气体流过加热区域时会带走热量,导致上下游加热丝上的加热功率发生变化,通过测量两组加热丝加热功率变化获得毛细管内待测气体流量和温度。本发明易于实现零点修正,并且无需额外温度传感器获取气体温度信息。
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公开(公告)号:CN113738881B
公开(公告)日:2023-06-30
申请号:CN202110891379.X
申请日:2021-08-04
申请人: 北京控制工程研究所
摘要: 本发明公开了一种多传感器融合的压电冷气变推力闭环调控装置,包括:外壳、流量传感器、流量传感器前端处理电路、位移传感器、位移传感器前端处理电路、流量传感器气体温度传感器、推力器入口温度传感器、推力器出口温度传感器及压电冷气推力器。本发明采用压电精密驱动、温度、流量传感器交互补偿实现了推力跨流域高精度补偿难题,通过多物理量反馈解决了高精度的推力调控问题。多传感器融合的压电冷气变推力闭环调控模块也是一种高精度流量控制模块,也可以广泛的应用于半导体制造、医疗、生化等高精尖民用领域。
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公开(公告)号:CN115355145A
公开(公告)日:2022-11-18
申请号:CN202210877796.3
申请日:2022-07-25
申请人: 北京控制工程研究所
发明人: 刘旭辉 , 李永 , 耿金越 , 汪旭东 , 郑伟杰 , 路松才 , 姚兆普 , 龙军 , 付新菊 , 高晨光 , 王平 , 宋新河 , 范旭丰 , 刘子健 , 张恒 , 吕泰增 , 赵立伟 , 韩智恒
IPC分类号: F03H1/00
摘要: 一种基于气体场电离增强的微牛级变推力器,属于空间推进技术领域。本发明包括:微牛级冷气推力器微喷管与场电离增强装置一体化、双工作模式的结构,喷管扩张段出口处经接口集成碳纳米管场电离推力器。中和器布置在场电离推力器外围。推力可工作在两种模式下,当场电离推力器不加电时,以冷气推力器状态工作;当场电离推力器加电时,气体经过接口进入到场电离推力器中,碳纳米管尖端的曲率半径只有纳米,具有很强的局部电场,将通入的气体进行电离,形成离子流。通过抽取级将正离子引出,经过加速栅极对离子进行加速,产生推力。场电离推力器外围的中和器利用隧穿效应,极易进行电子发射,对引出的正离子进行中和。
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公开(公告)号:CN116519073A
公开(公告)日:2023-08-01
申请号:CN202310332528.8
申请日:2023-03-30
申请人: 北京控制工程研究所
发明人: 龙军 , 刘清源 , 李永 , 姚兆普 , 刘锦涛 , 赵春阳 , 关威 , 王平 , 刘旭辉 , 李文 , 蔡坤 , 付新菊 , 魏延明 , 李宗良 , 张恒 , 石召新 , 朱智博 , 吕泰增 , 林震 , 孙超 , 姜鹏 , 李兴光 , 庚喜慧
IPC分类号: G01F1/667
摘要: 本发明公开了一种提高时差法超声波流量计测量精度的方法,首先搭建超声波流量计测量电路,设计测量时序,获得超声波在流体中顺流、逆流传播时间;再根据超声波在流体中顺流、逆流传播时间,计算流体温度值;构建包括超声波在流体中顺流传播时间参数、逆流传播时间参数、流体温度参数的流量测量模型,基于所述模型得到超声波流量值。本发明能够大幅提升时差法超声波流量计测量精度和环境适应性。
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公开(公告)号:CN114237310B
公开(公告)日:2023-08-01
申请号:CN202111435915.1
申请日:2021-11-29
申请人: 北京控制工程研究所
IPC分类号: G05D7/06
摘要: 一种基于位移流量双闭环的多模式流量调节系统及方法,包括基于位移传感器的位移内环控制回路,以及基于流量传感器的流量外环控制回路;内外控制环路均可通过模式选择器控制工作在开环和闭环状态,形成四种工作模式。本发明在流量反馈环路的基础上引入位移反馈环路,对压电阀的开启位移进行控制,进而提高压电比例阀在实际流量调节的收敛速度;同时利用多种工作模式,解决比例压电流量调节系统的可靠性和容错能力,解决单个传感器故障时流量调节系统工作可靠性问题。
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公开(公告)号:CN109579928B
公开(公告)日:2020-10-23
申请号:CN201811409416.3
申请日:2018-11-23
申请人: 北京控制工程研究所
摘要: 本发明公开了一种热式微流量测量传感器流道及密封结构,包括底板、元件基座、连接板和检测元件;底板和连接板均为矩形板,底板上分别设有用于气体流通的凹槽和用于安装元件基座的圆孔,圆孔轴线穿过凹槽,元件基座为圆台,元件基座同轴焊接在圆孔中,元件基座上安装有用于检测气体流动状态的检测元件,连接板与底板固定连接,连接板上分别设有用于配合凹槽的凸缘和用于气体流通的通孔,通孔轴线穿过凸缘。本发明通过底板凹槽与连接板凸缘的配合,避免了气体紊流,弥补了MEMS热式流量传感器检测稳定性较差的缺陷;通过设置填充件并将底板与连接板焊接,确保了检测元件和气体流道的可靠密封,解决了MEMS热式流量传感器结构及其流道密封性较低的问题。
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公开(公告)号:CN104482971B
公开(公告)日:2019-05-24
申请号:CN201410742115.8
申请日:2014-12-05
申请人: 北京控制工程研究所
摘要: 本发明提供了一种基于MEMS技术的热式流量传感器,其通过发热元件向被测流体散热,并通过测温元件对流体热量进行检测来测量流量。该热式流量传感器包括发热元件、位于发热元件上游侧且离发热元件不同距离的两组测温元件、对称布置在发热元件下游侧的两组测温元件、以及相应的加热控制电路和信号检测电路。本发明的热式流量传感器同时具有高灵敏度和宽量程的特点,与传统的热式流量传感器相比能实现更高的灵敏度和更宽的量程,并且利用微电子机械加工技术制作,具有压力损失小、热响应速度快、尺寸小、重量轻、可靠性高等优点。
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公开(公告)号:CN104132767A
公开(公告)日:2014-11-05
申请号:CN201410360832.4
申请日:2014-07-25
申请人: 北京控制工程研究所
IPC分类号: G01L9/04
摘要: 本发明提供一种基于MEMS的压力传感器,包括基座、下盖、支架、压力敏感芯体、绝缘垫、信号处理电路板、外壳、电连接器、以及引线板。压力敏感芯体采用溅射薄膜应变式原理,其作用是感应被测介质的压力,输出与压力信号变化成比例的电信号;信号处理电路是一种高度集成的传感器信号处理电路,用于给压力敏感芯体供电,同时对压力敏感芯体输出的信号进行放大、校准和温度补偿功能,实现高精度的信号调理;基座和外壳提供与管路的接口,并将压力敏感芯体与信号处理线路板进行封装。本发明的压力传感器为一体化结构,可靠性高,尺寸小,重量轻,适合于微小超高压冷气推进系统高压气瓶压力的精确测量。
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公开(公告)号:CN104062058A
公开(公告)日:2014-09-24
申请号:CN201410256965.7
申请日:2014-06-10
申请人: 北京控制工程研究所
IPC分类号: G01L9/06
摘要: 本发明涉及一种用于卫星管路焊接的压力传感器压力组件,属于航天器流体压力测量技术领域,适用于航天器压力传感器与系统管路的焊接密封。该压力组件包括直管压力接头、支架和压力敏感元件。本发明的压力组件解决了压力传感器不能与卫星管路进行密封焊接的问题;该结构不仅可保证产品的结构强度可靠性及0.05%的高测量精度,又提高了卫星推进分系统的密封可靠性;整机性能达到了国际先进水平。成功保证了压力组件与卫星管路的焊接;提高了系统密封可靠性,降低了泄漏的风险。
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公开(公告)号:CN113738881A
公开(公告)日:2021-12-03
申请号:CN202110891379.X
申请日:2021-08-04
申请人: 北京控制工程研究所
摘要: 本发明公开了一种多传感器融合的压电冷气变推力闭环调控装置,包括:外壳、流量传感器、流量传感器前端处理电路、位移传感器、位移传感器前端处理电路、流量传感器气体温度传感器、推力器入口温度传感器、推力器出口温度传感器及压电冷气推力器。本发明采用压电精密驱动、温度、流量传感器交互补偿实现了推力跨流域高精度补偿难题,通过多物理量反馈解决了高精度的推力调控问题。多传感器融合的压电冷气变推力闭环调控模块也是一种高精度流量控制模块,也可以广泛的应用于半导体制造、医疗、生化等高精尖民用领域。
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