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公开(公告)号：CN119542227A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411514000.3
申请日：2024-10-29
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种晶圆键合磁阵列对准方法，该方法在晶圆上通过MEMS方式制作若干组具有几何形状及对称分布特性的磁阵列标记，若干组磁阵列标记间呈现对称分布，每组磁阵列中存在若干个磁标记，且每个磁标记间呈现等距分布。通过在夹持及承载机构中采用MEMS方式预埋多组具有对称分布特性的磁传感阵列，每组磁传感阵列中存在若干个磁传感器，每个磁传感阵列中的磁传感器间呈等距分布。每个磁传感器阵列实时采集对应磁标记产生的磁场分布信息，获取每个磁标记的空间位置信息，并通过磁阵列及磁传感器阵列的对称分布特性获得晶圆的空间姿态信息。本发明提高了对磁场分布的信息密度，增强了对磁信息的处理能力，晶圆对准、键合的效率和精度。
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