一种晶圆表面缺陷模式检测与分析方法

    公开(公告)号:CN109977808B

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN201910181768.6

    申请日:2019-03-11

    Abstract: 本发明提出了一种晶圆表面缺陷模式检测与分析方法,该方法能够检测出晶粒的表面缺陷,并判断缺陷晶粒的分布模式及缺陷模式成因。本方法属于晶圆生产制造过程中的缺陷检测领域,旨在解决目前的缺陷检测方法中存在的人工劳动强度大、检测效率低等问题。具体流程包括:获取晶粒图像,通过机器视觉方法生成晶圆缺陷模式图;构建并训练晶圆缺陷模式检测模型与分类模型,检测模型用于判断晶圆是否存在缺陷模式,分类模型用于判断具体的缺陷模式类别;最后根据相似性度量算法在数据库中检索出与待测样本最相似的已标记样本,通过分析已知样本的缺陷模式成因,推断待测样本的缺陷模式成因。

    一种晶圆表面缺陷模式检测与分析方法

    公开(公告)号:CN109977808A

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201910181768.6

    申请日:2019-03-11

    Abstract: 本发明提出了一种晶圆表面缺陷模式检测与分析方法,该方法能够检测出晶粒的表面缺陷,并判断缺陷晶粒的分布模式及缺陷模式成因。本方法属于晶圆生产制造过程中的缺陷检测领域,旨在解决目前的缺陷检测方法中存在的人工劳动强度大、检测效率低等问题。具体流程包括:获取晶粒图像,通过机器视觉方法生成晶圆缺陷模式图;构建并训练晶圆缺陷模式检测模型与分类模型,检测模型用于判断晶圆是否存在缺陷模式,分类模型用于判断具体的缺陷模式类别;最后根据相似性度量算法在数据库中检索出与待测样本最相似的已标记样本,通过分析已知样本的缺陷模式成因,推断待测样本的缺陷模式成因。

    一种基于生成对抗网络的橡胶手套缺陷检测方法

    公开(公告)号:CN112837295B

    公开(公告)日:2024-07-16

    申请号:CN202110170082.4

    申请日:2021-02-01

    Abstract: 一种基于生成对抗网络的橡胶手套缺陷检测方法属于工业生产中橡胶手套的缺陷检测领域,解决目前工业生产线上主要依赖的人工目检效率低,人工成本高,检测精度不佳等问题,并解决实际工业生产中无法提供大量缺陷样本用于深度学习模型训练的情况。具体方法流程:采集橡胶手套图像,经过图像预处理,输入橡胶手套的正常样本对网络模型进行训练,使网络获取正常样本的特征分布并可以生成逼真的重建图像,训练收敛后输入测试样本,因模型只根据正常样本进行了优化,所以通过对重建图像的异常评分即可判断输入样本是否存在缺陷。

    一种基于生成对抗网络的橡胶手套缺陷检测方法

    公开(公告)号:CN112837295A

    公开(公告)日:2021-05-25

    申请号:CN202110170082.4

    申请日:2021-02-01

    Abstract: 一种基于生成对抗网络的橡胶手套缺陷检测方法属于工业生产中橡胶手套的缺陷检测领域,解决目前工业生产线上主要依赖的人工目检效率低,人工成本高,检测精度不佳等问题,并解决实际工业生产中无法提供大量缺陷样本用于深度学习模型训练的情况。具体方法流程:采集橡胶手套图像,经过图像预处理,输入橡胶手套的正常样本对网络模型进行训练,使网络获取正常样本的特征分布并可以生成逼真的重建图像,训练收敛后输入测试样本,因模型只根据正常样本进行了优化,所以通过对重建图像的异常评分即可判断输入样本是否存在缺陷。

Patent Agency Ranking