一种基于激光诱导微射流的微通孔一步制造装置及方法

    公开(公告)号:CN119952311A

    公开(公告)日:2025-05-09

    申请号:CN202510381364.7

    申请日:2025-03-28

    Abstract: 本发明公开一种基于激光诱导微射流的微通孔一步制造装置及方法,涉及激光精密加工技术领域,包括:激光加工组件,其激光输出端与试样的待加工区域对应;旁轴水射流机构,用于在待加工区域的表面形成均匀水膜,当激光加工组件向待加工区域发射激光束时,待加工区域形成环形孔,水膜在环形孔内的激光焦点处形成激光诱导微射流。基于激光诱导微射流具有高速高压稳定的特性,将微通孔加工过程中的悬浮气泡、碎屑等烧蚀产物实时排出,避免了孔洞侧壁及入口存在的重铸层、微裂纹等缺陷,提高了微通孔加工质量、激光能量利用率以及加工效率,实现了激光法一步高效、高质量加工脆硬材料微通孔的技术效果。

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