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公开(公告)号:CN116147766A
公开(公告)日:2023-05-23
申请号:CN202211691923.7
申请日:2022-12-27
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种覆盖parylene提升传感芯片灵敏度及重复利用的方法,采用nacl溶液进行实验测试,通过生长parylene前后分别测试两次,通过比较两次数据可以得到生长parylene对传感芯片的影响,并且,在生长parylene后的VCSEL传感芯片上,通过测试去除parylene前后的数据对比可以得到parylene是否完全去除,同理,在生长parylene的传感芯片上测试其他生物试剂,也可以通过去除parylene达到重复利用。该方法操作简单,成本低,有很大的应用潜力。