一种耦合仿生加速度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117538562A

    公开(公告)日:2024-02-09

    申请号:CN202311188196.7

    申请日:2023-09-14

    Abstract: 本发明公开耦合仿生加速度传感器及其制备方法,包括传感器外壳,其内设置有容纳空腔;蛛网功能层,设置在容纳空腔内、并且蛛网功能层的外壁与容纳空腔连接,蛛网功能层的中心向下凸出设置有一凸台,蛛网功能层采用仿蛛网结构;质量块,设置在蛛网功能层中心上方,并与凸台上表面贴合连接;第一电极,与凸台下表面贴合连接;第一摩擦电层,贴合连接在第一电极下表面;第二摩擦电层,设置在容纳空腔的底部中心位置,与第一摩擦电层的位置相对应,并在第二摩擦电层下方设置有第二电极,第二摩擦电层通过第二电极设置在容纳空腔的底部中心位置。本发明基于蜘蛛网特殊的粘弹性材料及稳定结构,提出一种高灵敏、大量程、自供电的耦合仿生加速度传感器。

    一种耦合仿生压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117367634A

    公开(公告)日:2024-01-09

    申请号:CN202311188046.6

    申请日:2023-09-14

    Abstract: 本发明公开耦合仿生压力传感器及其制备方法,包括:第一刚性孔阵列触发层,其上排列设置有多个第一凸出孔,形成第一凸出阵列孔;中间柔性缝阵列导电层,其上沉积设置有金属导电层,并在所述金属导电层上设置有缝阵列结构;第二刚性孔阵列触发层,其上排列设置有多个第二孔,形成第二阵列孔;第一电极和第二电极,所述第一电极和第二电极分别连接在所述中间柔性缝阵列导电层两端;其中,所述缝阵列结构为模仿蛛形纲生物缝感受器的缝阵列结构。本发明采用分层、分级导电层结构,模仿蛛形纲生物缝感受器、昆虫纲生物钟形感受器结构,实现小压力和较大压力范围的传感;本发明可以克服现有压力传感器难以同时兼顾高灵敏和大量程的问题。

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