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公开(公告)号：CN100447542C
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：CN200610083449.4
申请日：2006-05-31
Applicant: 北京大学
IPC: G01L1/04
Abstract: 本发明提供一种MEMS力学微探针及其制备方法，属于微电子机械系统(MEMS)加工技术领域。该探针包括：探针体和衬底，探针体和衬底通过固定锚点固定连接，探针体包括：T型探针头、着力质量块、弹性梁及标尺结构，T型探针头与着力质量块通过弹性梁连接，形成探针可动结构，探针可动结构再通过一组弹性梁结构与固定锚点相连接，悬浮于衬底之上，标尺结构分为定尺、动尺I和动尺II三个部分，动尺I与T型探针头部相连，动尺II与着力质量块相连，定尺固定在衬底上。本发明利用弹性梁受力形变与所受外力成正比的原理，读出被测样品所受力的大小，具有读数简单、工艺易于实现的特点。
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公开(公告)号：CN1866407A
公开(公告)日：2006-11-22
申请号：CN200610083448.X
申请日：2006-05-31
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供一种MEMS力学微探针及其制备方法，属于微电子机械系统(MEMS)加工技术领域。该探针包括探针体、衬底和若干个固定锚点，探针体包括：T型探针头、弹性梁、两个梳齿电容及标尺结构，T型探针头通过与固定锚点连接的弹性梁悬浮于衬底之上，梳齿电容分别设置在T型探针头的肩部，梳齿电容的正/负极板与固定锚点相连，另一负/正极板与T型探针头相连，标尺结构包括：动尺和定尺两部分，动尺与T型探针头连接，定尺与固定锚点相连，探针体和衬底通过上述固定锚点固定连接。本发明利用弹性折梁受力形变与所受外力成正比，以及梳齿间静电力与梳齿间电压的平方成正比的原理，读出被测样品所受力的大小，具有读数简单、工艺易于实现的特点。
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公开(公告)号：CN1877275A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200610083449.4
申请日：2006-05-31
Applicant: 北京大学
IPC: G01L1/04
Abstract: 本发明提供一种MEMS力学微探针及其制备方法，属于微电子机械系统(MEMS)加工技术领域。该探针包括：探针体和衬底，探针体和衬底通过固定锚点固定连接，探针体包括：T型探针头、着力质量块、弹性梁及标尺结构，T型探针头与着力质量块通过弹性梁连接，形成探针可动结构，探针可动结构再通过一组弹性梁结构与固定锚点相连接，悬浮于衬底之上，标尺结构分为定尺、动尺I和动尺II三个部分，动尺I与T型探针头部相连，动尺II与着力质量块相连，定尺固定在衬底上。本发明利用弹性梁受力形变与所受外力成正比的原理，读出被测样品所受力的大小，具有读数简单、工艺易于实现的特点。
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