公开(公告)号：CN102313625A

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：CN201110140216.4

申请日：2011-05-27

Applicant: 北京大学

Inventor： 张锦文 ,  李伟 ,  于方舟

IPC: G01L21/12 ,  B82Y15/00

Abstract: 本发明公开了碳纳米管皮拉尼真空计及其真空度检测方法，该真空计主要包括衬底、相对设置的电极对和碳纳米管；其中，电极对制作在衬底上，碳纳米管搭载在电极对之间；通过电极对给碳纳米管加恒定的电流或电压加热，由于真空度不同气体热传导特性不同，因此碳纳米管恒定温度不同，又碳纳米管电阻随温度而变化，通过测量碳纳米管电阻测得真空度。本发明的碳纳米管皮拉尼真空计结构简单，体积小，性能稳定，采用的碳纳米管具有较高的电阻温度系数和导电性，因此响应快、气压测量范围宽、灵敏度高、功耗低。而且其制造工艺简单、成本低、成品率高、可靠性高。

公开(公告)号：CN102313625B

公开(公告)日：2013-01-09

申请号：CN201110140216.4

申请日：2011-05-27

Applicant: 北京大学

Inventor： 张锦文 ,  李伟 ,  于方舟

IPC: G01L21/12 ,  B82Y15/00

Abstract: 本发明公开了碳纳米管皮拉尼真空计及其真空度检测方法，该真空计主要包括衬底、相对设置的电极对和碳纳米管；其中，电极对制作在衬底上，碳纳米管搭载在电极对之间；通过电极对给碳纳米管加恒定的电流或电压加热，由于真空度不同气体热传导特性不同，因此碳纳米管恒定温度不同，又碳纳米管电阻随温度而变化，通过测量碳纳米管电阻测得真空度。本发明的碳纳米管皮拉尼真空计结构简单，体积小，性能稳定，采用的碳纳米管具有较高的电阻温度系数和导电性，因此响应快、气压测量范围宽、灵敏度高、功耗低。而且其制造工艺简单、成本低、成品率高、可靠性高。