公开(公告)号：CN116013751A

公开(公告)日：2023-04-25

申请号：CN202211736063.4

申请日：2022-12-31

申请人： 北京凯世通半导体有限公司 ,  上海凯世通半导体股份有限公司

发明人： 林帅 ,  夏世伟 ,  李勇军 ,  黄才钧 ,  韦继福 ,  郑策

IPC分类号： H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H01L21/67

摘要： 本发明提供一种离子喷枪的绝缘结构，所述离子喷枪的绝缘结构适用于离子喷枪，离子喷枪有两个独立相同的弧腔，分别是上弧腔和下弧腔；两个矩形喷口结构的相对上下排列，两个矩形喷口结构覆盖在上弧腔和下弧腔上；上弧腔和下弧腔独立产生等离子体，吸附在束流周围，中和晶圆表面的电荷；两个矩形喷口结构的每个的两个小孔上下排列，安装在离子喷枪弧腔上，两个小孔之间距离16mm。本发明离子喷枪的绝缘结构，设计成本低，维护成本低，增加绝缘子对其起到了支撑作用，能够解决其变形程度导致短路，使用寿命大大提高，节约维护成本。

公开(公告)号：CN219575554U

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN202223589652.2

申请日：2022-12-31

申请人： 北京凯世通半导体有限公司 ,  上海凯世通半导体股份有限公司

发明人： 林帅 ,  夏世伟 ,  李勇军 ,  黄才钧 ,  韦继福 ,  郑策

IPC分类号： H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H01L21/67

摘要： 本实用新型提供一种离子喷枪的绝缘结构，所述离子喷枪的绝缘结构适用于离子喷枪，所述离子喷枪包括基座部分、起弧腔以及线路连接部分；其中，基座部分用于承载起弧腔以及各种线路以及气管；起弧腔内有灯丝.灯丝通电被加热后就会发射电子；灯丝电源通过电源线给上下两个起弧腔内的灯丝供电，线路连接部分用于输送电压以及所用氙气。本实用新型离子喷枪的绝缘结构增加绝缘子对离子喷枪起到了支撑作用，能够解决其变形程度导致短路，使用寿命大大提高，节约维护成本。